كوئاكسىيال ئېلېكترو ماگنىت مەيدانى تىپىدىكى ئىئون قاپلاش ماشىنىسى

1. بوش كاتود ئىئون قاپلاش ماشىنىسى ۋە قىزىق سىم قوس ئىئون قاپلاش ماشىنىسى

بوش كاتود مىلتىقى ۋە قىزىق سىملىق ئوقيا مىلتىقى قاپلاش كامېراسىنىڭ ئۈستى تەرىپىگە، ئانود ئاستى تەرىپىگە ئورنىتىلغان، قاپلاش كامېراسىنىڭ ئەتراپىنىڭ ئۈستى ۋە ئاستى تەرىپىگە ئىككى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر ئورنىتىلغان. ئوقيا نۇرىنىڭ ئېلېكترون ئېقىمى ئۈستىدىن ئاستىغا قاراپ ئايلىنىپ، سىپىرال سىزىق ھەرىكىتىنى ئېلىپ بارىدۇ.

2. كىچىك ئايلانما كاتود ياي مەنبەسىنىڭ مەڭگۈلۈك ماگنىت ۋە ئېلېكترو ماگنىت كونترولى

ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر نىشاننىڭ ئايلانمىسىدا ئايلىنىش ھەرىكىتىنى قىلىش ئۈچۈن ئوق نۇقتىسىنى تېزلىتىدۇ، بۇ ئوق نۇقتىسىنىڭ نىشان يۈزىدە تۇرۇش ۋاقتىنى قىسقارتىدۇ، ئېرىتىلگەن كۆلچەكنىڭ كۆلىمىنى ئازايتىدۇ ۋە پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ تەشكىللىنىشىنى ياخشىلايدۇ.

3. قوش ئېلېكترو ماگنىتلىق كونترول كاتود ياي مەنبەسى

كاتود قوس مەنبەسى ئىككى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر بىلەن تەمىنلەنگەن بولۇپ، بۇ ئېلېكترون ئېقىمىنىڭ ئايلىنىش سۈرئىتىنى ياخشىلايدۇ ۋە پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ تەشكىللىنىشىنى ياخشىلايدۇ.

4. ماگنىترون سىكلوترون PECVD

ئېلېكترونلارنىڭ ئايلىنىشى ئۈچۈن DC PECVD قاپلاش كامېراسىنىڭ سىرتىغا ئىككى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر ئورنىتىلغان بولۇپ، بۇ ئېلېكترونلار بىلەن گازنىڭ سوقۇلۇش ئېھتىماللىقىنى ئاشۇرىدۇ ھەمدە پىلاستىنكا قەۋىتىدىكى زەررىچىلەرنىڭ ئايرىلىش سۈرئىتىنى ياخشىلايدۇ.

5.ECR مىكرو دولقۇنلۇق PECVD

سىرتقى قاپلاش كامېراسىنىڭ ئۈستى ۋە ئاستى تەرىپىگە ئىككى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر ئورنىتىلغان بولۇپ، ئايرىلىش سۈرئىتىنى يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.

6. ياي نۇرى چىقىرىش PECVD

PECVD ئۈسكۈنىسىنىڭ ياي چىقىرىش بوشلۇقىغا ئىككى ئېلېكترو ماگنىتلىق چەمبەر ئورنىتىلغان بولۇپ، ئۈستى ۋە ئاستى تەرەپتىكى ئورالما قاپلاش كامېراسىغا ئالماس پەردە چاپلانغان، كوئاكسىيال ئېلېكترو ماگنىت مەيدانىدا ياي ئېلېكترون ئېقىمىنى ئايلاندۇرۇپ، كاربون سۇ بىرىكمىلىرىنىڭ گاز ئىئونلىشىشىنى قوزغىتالايدۇ.

– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا