1. ເຄື່ອງເຄືອບໄອອອນແຄໂທດຮູ ແລະ ເຄື່ອງເຄືອບໄອອອນສາຍຮ້ອນ
ປືນແຄໂທດຮູ ແລະ ປືນສາຍຮ້ອນຮວງຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງສຸດຂອງຫ້ອງເຄືອບ, ອາໂນດຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ດ້ານລຸ່ມ, ແລະ ຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສອງອັນຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ເທິງ ແລະ ດ້ານລຸ່ມຂອງຂອບຫ້ອງເຄືອບ. ແສງໂຄ້ງໄຫຼຂອງເອເລັກຕຣອນຈາກເທິງຫາລຸ່ມເພື່ອເຮັດການເຄື່ອນໄຫວຂອງເສັ້ນກ້ຽວວຽນ.
2. ແມ່ເຫຼັກຖາວອນບວກກັບການຄວບຄຸມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຂອງແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າແຄໂທດວົງມົນຂະໜາດນ້ອຍ
ຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າເລັ່ງຈຸດໂຄ້ງໃຫ້ເຮັດວຽກໝູນວຽນໃນເສັ້ນຮອບວົງຂອງເປົ້າໝາຍ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດເວລາການຢູ່ອາໄສຂອງຈຸດໂຄ້ງຢູ່ເທິງໜ້າຜິວເປົ້າໝາຍ, ຫຼຸດພື້ນທີ່ຂອງສະລອຍນ້ຳທີ່ລະລາຍ ແລະ ປັບປຸງການຈັດລະບຽບຊັ້ນຟິມ.
3. ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າກາໂຕດຄວບຄຸມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າຄູ່
ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າກາໂຕດມີຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສອງອັນ, ເຊິ່ງຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມໄວໃນການໝູນວຽນຂອງການໄຫຼຂອງເອເລັກຕຣອນ ແລະ ປັບປຸງການຈັດຕັ້ງຊັ້ນຟິມ.
4. ແມກນີຕຣອນ ໄຊໂຄລຕຣອນ PECVD
ຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສອງອັນຖືກຕິດຕັ້ງຢູ່ນອກຫ້ອງເຄືອບ DC PECVD ເພື່ອເຮັດໃຫ້ເອເລັກຕຣອນໝູນວຽນ, ເຊິ່ງເພີ່ມຄວາມເປັນໄປໄດ້ຂອງການປະທະກັນລະຫວ່າງເອເລັກຕຣອນ ແລະ ອາຍແກັສ, ແລະ ປັບປຸງອັດຕາການແຍກຕົວຂອງອະນຸພາກໃນຊັ້ນຟິມ.
5. ໄມໂຄເວຟ ECR PECVD
ໃນຫ້ອງເຄືອບນອກຕິດຕັ້ງດ້ານເທິງ ແລະ ດ້ານລຸ່ມດ້ວຍຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສອງອັນ, ສາມາດປັບປຸງອັດຕາການແຍກຕົວ.
6. ການປ່ອຍແສງ Arc PECVD
ໃນຫ້ອງເຄືອບອຸປະກອນ PECVD ທີ່ມີການປ່ອຍກະແສໄຟຟ້າອ້ອມບໍລິເວນດ້ານເທິງ ແລະ ດ້ານລຸ່ມຂອງຂົດລວດແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າສອງອັນ, ການວາງຟິມເພັດ, ສະໜາມແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າແບບ coaxial ສາມາດໝຸນກະແສໄຟຟ້າຂອງເອເລັກຕຣອນເພື່ອກະຕຸ້ນການໄອອອນໄນເຊຊັນຂອງໄຮໂດຄາບອນ.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ຕຸລາ-24-2023