1. İçi boş katotlu iyon kaplama makinesi ve sıcak tel ark iyon kaplama makinesi
Kaplama odasının üst kısmına içi boş katot tabancası ve sıcak tel ark tabancası, alt kısmına anot ve kaplama odasının üst ve alt çevresine iki elektromanyetik bobin yerleştirilmiştir. Ark ışığı elektronları yukarıdan aşağıya doğru spiral çizgi hareketi yaparak akar.
2. Kalıcı mıknatıs ve elektromanyetik kontrol ile küçük dairesel katot ark kaynağı
Elektromanyetik bobin, ark noktasını hedef yüzeyinde dairesel hareket yapacak şekilde hızlandırır; bu da ark noktasının hedef yüzeyinde kalma süresini azaltır, erimiş havuzun alanını küçültür ve film tabakasının yapısını iyileştirir.
3. Çift elektromanyetik kontrollü katodik ark kaynağı
Katodik ark kaynağı, elektron akışının dönme hızını artıran ve film tabakası organizasyonunu iyileştiren iki elektromanyetik bobinle donatılmıştır.
4. Magnetron Siklotron PECVD
DC PECVD kaplama odasının dışına iki elektromanyetik bobin yerleştirilmiştir. Bu bobinler elektronların dönmesini sağlayarak elektronlar ve gaz arasındaki çarpışma olasılığını artırır ve film tabakasındaki parçacıkların ayrışma oranını iyileştirir.
5.ECR Mikrodalga PECVD
Kaplama odasının dışına, üst ve alt kısımlara yerleştirilen iki elektromanyetik bobin, ayrışma hızını artırabilir.
6. Ark Işık Deşarjı PECVD
Ark deşarjlı PECVD ekipmanının kaplama odasında, üst ve alt kısımlara yerleştirilmiş iki elektromanyetik bobin sayesinde elmas film biriktirilir; eş eksenli elektromanyetik alan, dönen ark elektron akışını uyararak hidrokarbonların gaz iyonlaşmasını sağlar.
Bu makale şu kuruluş tarafından yayınlanmıştır:vakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Yayın tarihi: 24 Ekim 2023