1. Hollow cathode ion coating machine နှင့် hot wire arc ion coating machine
အခေါင်းပေါက် cathode gun နှင့် hot wire arc gun ကို coating chamber ၏ထိပ်တွင်တပ်ဆင်ထားပြီး၊ anode ကို အောက်ခြေတွင်တပ်ဆင်ထားပြီး coating chamber periphery ၏အပေါ်နှင့်အောက်ခြေတွင် လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်နှစ်ခုကို တပ်ဆင်ထားသည်။ Arc light သည် ခရုပတ်မျဉ်းလှုပ်ရှားမှုပြုလုပ်ရန်အတွက် အပေါ်မှအောက်ခြေသို့ စီးဆင်းသည်။
2. သေးငယ်သော စက်ဝိုင်းပုံ cathode arc အရင်းအမြစ်၏ အမြဲတမ်းသံလိုက်နှင့် လျှပ်စစ်သံလိုက်ထိန်းချုပ်မှု
အီလက်ထရွန်းနစ်ကွိုင်သည် ပစ်မှတ်၏ ပတ်၀န်းကျင်ရှိ rotary လှုပ်ရှားမှုကို လုပ်ဆောင်ရန် ရိုတာရီလှုပ်ရှားမှုကို အရှိန်မြှင့်ပေးသည်၊ ၎င်းသည် ပစ်မှတ်မျက်နှာပြင်ရှိ arc အစက်၏နေထိုင်ချိန်ကို လျော့နည်းစေကာ သွန်းသောရေကန်၏ ဧရိယာကို လျော့ကျစေပြီး ဖလင်အလွှာအဖွဲ့အစည်းကို သန့်စင်စေသည်။
3.Dual လျှပ်စစ်သံလိုက်ထိန်းချုပ်မှု cathodic arc အရင်းအမြစ်
cathodic arc source တွင် electromagnetic coils နှစ်ခုကို တပ်ဆင်ထားပြီး၊ ၎င်းသည် အီလက်ထရွန်၏ လည်ပတ်စီးဆင်းမှုအမြန်နှုန်းကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပြီး ဖလင်အလွှာအဖွဲ့အစည်းကို သန့်စင်စေသည်။
4.Magnetron Cyclotron PECVD
အီလက်ထရွန်နှင့် ဓာတ်ငွေ့ကြားတွင် တိုက်မိမှုဖြစ်နိုင်ခြေကို တိုးမြင့်စေပြီး ဖလင်အလွှာရှိ အမှုန်များ ကွဲထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးသည့် အီလက်ထရွန်များကို လှည့်စေရန် DC PECVD အပေါ်ယံအခန်း အပြင်ဘက်တွင် လျှပ်စစ်သံလိုက်ကွိုင်နှစ်ခု တပ်ဆင်ထားသည်။
5.ECR မိုက်ခရိုဝေ့ PECVD
အပေါ်နှင့်အောက် တပ်ဆင်ထားသည့် အပြင်ဘက်ရှိ coating chamber တွင် electromagnetic coil နှစ်ခုဖြင့် dissociation နှုန်းကို မြှင့်တင်နိုင်ပါသည်။
6.Arc Light Discharge PECVD
PECVD ၏ အပေါ်ပိုင်းနှင့် အောက်ပိုင်း တပ်ဆင်ထားသော အပေါ်ပိုင်းနှင့် အောက်ပိုင်း ပတ်ပတ်လည် arc discharge စက်ပစ္စည်းများတွင်၊ ဟိုက်ဒရိုကာဗွန်ဓာတ်ငွေ့များ အိုင်ယွန်းခြင်းကို လှုံ့ဆော်ရန်အတွက် coaxial electromagnetic field သည် လှည့်ပတ်နိုင်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
တင်ချိန်- အောက်တိုဘာ ၂၄-၂၀၂၃