Процесен тек на машина за распрскување

1. Подлога за чистење од бомбардирање

1.1) Машината за распрскување користи сјајно празнење за чистење на подлогата. Тоа значи дека се полни аргонскиот гас во комората, напонот на празнење е околу 1000V. По вклучувањето на напојувањето, се генерира сјајно празнење и подлогата се чисти со бомбардирање со аргонски јони.

1.2) Кај машините за распрскувачко премачкување кои индустриски произведуваат врвни украси, титаниумските јони емитирани од мали лачни извори најчесто се користат за чистење. Машината за распрскувачко премачкување е опремена со мал лачен извор, а потокот од титаниумски јони во лачната плазма генерирана од празнењето на малиот лачен извор се користи за бомбардирање и чистење на подлогата.

2. Облога од титаниум нитрид

При нанесување на тенки филмови од титаниум нитрид, целниот материјал за распрскување е титаниумската цел. Целниот материјал е поврзан со негативната електрода на напојувањето за распрскување, а целниот напон е 400~500V; флуксот на аргон е фиксен, а контролниот вакуум е (3~8) x10.^-1PA. Подлогата е поврзана со негативната електрода на напојувањето со пристрасност, со напон од 100~200V.

По вклучувањето на напојувањето на распрскувачката титаниумска цел, се генерира сјајно празнење, а високоенергетските аргонски јони ја бомбардираат распрскувачката цел, распрскувајќи атоми на титаниум од целта.

Реакцискиот гас азот се внесува, а титаниумските атоми и азотот се јонизираат во титаниумски јони и азотни јони во комората за обложување. Под влијание на негативното електрично поле применето на подлогата, титаниумските јони и азотните јони се забрзуваат кон површината на подлогата за хемиска реакција и таложење за да формираат слој од титаниум нитриден филм.

3. Извадете ја подлогата

Откако ќе се достигне претходно одредената дебелина на филмот, исклучете го напојувањето со распрскување, напојувањето со струја за поларизација на подлогата и изворот на воздух. Откако температурата на подлогата ќе падне под 120 ℃, наполнете ја комората за обложување со воздух и извадете ја подлогата.

Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за премачкување со магнетронско распрскување– Гуангдонг Женхуа.