1. 中空陰極イオンコーティング機とホットワイヤアークイオンコーティング機
コーティング室の上部にはホローカソードガンとホットワイヤアークガンが、下部にはアノードが設置され、コーティング室外周の上部と下部には2つの電磁コイルが設置されています。アーク光電子は上部から下部へと流れ、螺旋状の線運動を行います。
2. 永久磁石と電磁石による小型円形陰極アーク源の制御
電磁コイルはアークスポットを加速してターゲットの周囲で回転運動をさせます。これにより、アークスポットのターゲット表面での滞留時間が短縮され、溶融池の面積が減少し、フィルム層組織が改良されます。
3.二重電磁制御陰極アーク源
陰極アーク源には 2 つの電磁コイルが装備されており、電子流の回転速度が向上し、フィルム層の組織が改善されます。
4.マグネトロンサイクロトロンPECVD
DC PECVDコーティングチャンバーの外側に2つの電磁コイルを設置して電子を回転させ、電子とガスの衝突確率を高め、フィルム層内の粒子の解離速度を向上させます。
5.ECRマイクロ波PECVD
コーティング室外側に上下２つの電磁コイルを設置し、解離速度を向上させることができます。
6.アーク光放電PECVD
アーク放電PECVD装置のコーティングチャンバーの周囲に2つの電磁コイルを上下に設置し、ダイヤモンド膜を堆積します。同軸電磁場によりアーク電子流を回転させ、炭化水素ガスのイオン化を促進します。
–この記事は真空コーティング機メーカー広東振華
投稿日時: 2023年10月24日