פּראָצעס פלוס פון ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין

1. באָמבאַרדירונג רייניקונג סאַבסטראַט

1.1) די שפּאַטערינג קאָוטינג מאַשין ניצט גלאָו דיסטשאַרדזש צו רייניקן דעם סאַבסטראַט. דאָס הייסט, מען לייגט אַרײַן אַרגאָן גאַז אין דער קאַמער, די דיסטשאַרדזש וואָולטאַזש איז אַרום 1000V. נאָכן אָנצינדן די מאַכט צושטעל, ווערט געשאַפֿן אַ גלאָו דיסטשאַרדזש, און דער סאַבסטראַט ווערט ריין געמאַכט דורך אַרגאָן יאָן באָמבאַרדירן.

1.2) אין שפּאַטערינג קאָוטינג מאַשינען וואָס אינדוסטריעל פּראָדוצירן הויך-קוואַליטעט אָרנאַמענטן, ווערן טיטאַניום יאָנען וואָס ווערן אַרויסגעלאָזט דורך קליינע בויגן-קוואַלן מערסטנס געניצט פֿאַר רייניקונג. די שפּאַטערינג קאָוטינג מאַשין איז אויסגעשטאַט מיט אַ קליינער בויגן-קוואַלן, און דער טיטאַניום יאָן שטראָם אין דער בויגן-פּלאַזמע וואָס ווערט גענערירט דורך דער קליינער בויגן-קוואַלן אָפּזאָגן ווערט געניצט צו באַמבאַרדירן און רייניקן דעם סאַבסטראַט.

2. טיטאניום ניטריד קאָוטינג

ווען מען לייגט אַוועק טיטאַניום ניטריד דין פילמען, איז דער ציל מאַטעריאַל פֿאַר ספּאַטערינג אַ טיטאַניום ציל. דער ציל מאַטעריאַל איז פארבונדן צום נעגאַטיוון עלעקטראָד פון דער ספּאַטערינג מאַכט צושטעל, און די ציל וואָולטידזש איז 400~500V; דער אַרגאָן פלוס איז פאַרפעסטיקט, און דער קאָנטראָל וואַקוום איז (3~8) x10^-1PA. דער סאַבסטראַט איז פארבונדן צום נעגאַטיוון עלעקטראָד פון דער בייאַס מאַכט צושטעל, מיט אַ וואָולטאַזש פון 100~200V.

נאכדעם וואס מען אנצינדט די מאכט צושטעל פון דעם שפריצערנדן טיטאניום ציל, ווערט געשאפן א גלאנץ-אויסלאדונג, און הויך-ענערגיע ארגאן יאנען באמבארדירן דעם שפריצערנדן ציל, שפריצערנדיג טיטאניום אטאמען פון דעם ציל.

דער רעאַקציע גאַז שטיקשטאָף ווערט אַרײַנגעפֿירט, און די טיטאַניום אַטאָמען און שטיקשטאָף ווערן יאָניזירט אין טיטאַניום יאָנען און שטיקשטאָף יאָנען אין דער באַדעקונג קאַמער. אונטער דער אַטראַקציע פֿון דעם נעגאַטיוון פֿאַרשפּרייטן עלעקטרישן פֿעלד וואָס ווערט אַפּליצירט צום סאַבסטראַט, פֿאַרגיכערן זיך טיטאַניום יאָנען און שטיקשטאָף יאָנען צו דער ייבערפֿלאַך פֿונעם סאַבסטראַט פֿאַר אַ כעמישע רעאַקציע און דעפּאָזיציע צו פֿאָרמירן אַ טיטאַניום ניטריד פֿילם שיכט.

3. אַרויסנעמען דעם סאַבסטראַט

נאכדעם וואס מען דערגרייכט די באשטימטע פילם גרעב, דארף מען אויסלעשן די שפריצער מאכט צושטעל, די סובסטראט בייאס מאכט צושטעל, און די לופט מקור. נאכדעם וואס די סובסטראט טעמפעראטור איז נידעריגער ווי 120 ℃, דארף מען אנפילן די באדעק קאמער מיט לופט און ארויסנעמען די סובסטראט.

דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט דורךמאַגנעטראָן ספּאַטערינג קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנט– גואַנגדאָנג זשענהואַ.