1. Bombardıman temizleme alt tabakası
1.1) Püskürtme kaplama makinesi, alt tabakayı temizlemek için kızdırma deşarjını kullanır. Yani, argon gazını hazneye yükleyin, deşarj voltajı yaklaşık 1000V'dur, Güç kaynağını açtıktan sonra, bir kızdırma deşarjı üretilir ve alt tabaka argon iyon bombardımanı ile temizlenir.
1.2) Endüstriyel olarak yüksek kaliteli süs eşyaları üreten püskürtme kaplama makinelerinde, küçük ark kaynakları tarafından yayılan titanyum iyonları çoğunlukla temizlik için kullanılır. Püskürtme kaplama makinesi küçük bir ark kaynağı ile donatılmıştır ve küçük ark kaynağı deşarjı tarafından üretilen ark plazmasındaki titanyum iyon akışı, alt tabakayı bombardıman etmek ve temizlemek için kullanılır.
2. Titanyum nitrür kaplama
Titanyum nitrür ince filmler biriktirilirken, püskürtme için hedef malzeme titanyum hedeftir. Hedef malzeme püskürtme güç kaynağının negatif elektroduna bağlanır ve hedef voltajı 400~500V'tur; Argon akısı sabittir ve kontrol vakumu (3~8) x10'dur-1PA. Substrat, 100~200V'luk bir voltajla, önyargı güç kaynağının negatif elektroduna bağlanır.
Püskürtme titanyum hedefine güç kaynağının açılmasıyla, bir parıltı deşarjı oluşur ve yüksek enerjili argon iyonları püskürtme hedefini bombardıman ederek hedeften titanyum atomlarını püskürtür.
Reaksiyon gazı azotu tanıtılır ve titanyum atomları ve azot, kaplama odasında titanyum iyonlarına ve azot iyonlarına iyonize edilir. Alt tabakaya uygulanan negatif önyargı elektrik alanının çekimi altında, titanyum iyonları ve azot iyonları kimyasal reaksiyon ve birikme için alt tabakanın yüzeyine hızlanır ve titanyum nitrür film tabakası oluşturur.
3. Alt tabakayı çıkarın
Önceden belirlenmiş film kalınlığına ulaşıldıktan sonra, püskürtme güç kaynağını, alt tabaka önyargı güç kaynağını ve hava kaynağını kapatın. Alt tabaka sıcaklığı 120 ℃'nin altına düştükten sonra, kaplama odasını hava ile doldurun ve alt tabakayı çıkarın.
Bu makale tarafından yayınlanmıştırmagnetron püskürtme kaplama makinesi üreticisi– Guangdong Zhenhua.
Gönderi zamanı: Nis-07-2023