1. Boş katod ion örtük maşyny we gyzgyn sim ark ion örtük maşyny
Içerki katod ýaragy we gyzgyn simli ýaý ýaragy örtük kamerasynyň ýokarsynda, anodyň aşagynda we örtük kamerasynyň periferiýasynyň ýokarsynda we aşagynda iki sany elektromagnit rulon oturdylýar. Spiral çyzygyň hereketini etmek üçin arkadan ýeňil elektron ýokardan aşaklygyna akýar.
2. Kiçijik tegelek katod ark çeşmesine hemişelik magnit we elektromagnit gözegçilik
Elektromagnit rulon, nyşanyň daşyndaky aýlanyş hereketini amala aşyrmak üçin ýaý nokadyny çaltlaşdyrýar, bu ýaýyň ýerleşýän ýeriniň ýaşaýyş wagtyny gysgaldýar, eredilen howuzyň meýdanyny azaldar we film gatlagynyň guralyşyny arassalaýar.
3. Iki gezek elektromagnit dolandyryş katod ark çeşmesi
Katod ark çeşmesi iki sany elektromagnit rulon bilen enjamlaşdyrylandyr, bu elektron akymynyň aýlanma tizligini ýokarlandyrýar we film gatlagynyň guralyşyny arassalaýar.
4.Magnetron siklotron PECVD
Elektronlaryň aýlanmagy üçin DC PECVD örtük kamerasynyň daşynda iki sany elektromagnit rulon oturdylýar, bu bolsa elektronlar bilen gazyň çaknyşma ähtimallygyny ýokarlandyrýar we film gatlagynda bölejikleriň bölüniş tizligini ýokarlandyrýar.
5.ECR Mikrotolkun PECVD
Gurnalan daşardaky örtük kamerasynda ýokarky we aşaky iki elektromagnit rulon bilen bölüniş tizligini ýokarlandyryp bilersiňiz.
6.Arc ýagtylygy akdyrmak PECVD
Iki sany elektromagnit rulonyň ýokarky we aşaky gurnamasy, göwher filminiň çökmegi, ýaýyň çykarylyşynda PECVD enjam örtük kamerasynda, uglewodorodlaryň gaz ionlaşmagyny höweslendirmek üçin koaksial elektromagnit meýdany öwrüp bolýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Oktýabr-24-2023