స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ యొక్క ప్రక్రియ ప్రవాహం

1. బాంబర్డ్‌మెంట్ క్లీనింగ్ సబ్‌స్ట్రేట్

1.1) స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ మెషిన్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను శుభ్రం చేయడానికి గ్లో డిశ్చార్జ్‌ను ఉపయోగిస్తుంది. అంటే, ఆర్గాన్ వాయువును చాంబర్‌లోకి ఛార్జ్ చేయండి, డిశ్చార్జ్ వోల్టేజ్ దాదాపు 1000V ఉంటుంది, విద్యుత్ సరఫరాను ఆన్ చేసిన తర్వాత, గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది మరియు ఆర్గాన్ అయాన్ బాంబర్డ్‌మెంట్ ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ శుభ్రం చేయబడుతుంది.

1.2) పారిశ్రామికంగా హై-ఎండ్ ఆభరణాలను ఉత్పత్తి చేసే స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ యంత్రాలలో, చిన్న ఆర్క్ మూలాల ద్వారా విడుదలయ్యే టైటానియం అయాన్లను ఎక్కువగా శుభ్రపరచడానికి ఉపయోగిస్తారు. స్పట్టరింగ్ కోటింగ్ యంత్రం ఒక చిన్న ఆర్క్ మూలాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు చిన్న ఆర్క్ మూల ఉత్సర్గ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడిన ఆర్క్ ప్లాస్మాలోని టైటానియం అయాన్ స్ట్రీమ్‌ను ఉపరితలాన్ని బాంబు దాడి చేయడానికి మరియు శుభ్రం చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

2. టైటానియం నైట్రైడ్ పూత

టైటానియం నైట్రైడ్ సన్నని ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేసేటప్పుడు, స్పట్టరింగ్ కోసం లక్ష్య పదార్థం టైటానియం లక్ష్యం. లక్ష్య పదార్థం స్పట్టరింగ్ విద్యుత్ సరఫరా యొక్క ప్రతికూల ఎలక్ట్రోడ్‌కు అనుసంధానించబడి ఉంటుంది మరియు లక్ష్య వోల్టేజ్ 400~500V; ఆర్గాన్ ఫ్లక్స్ స్థిరంగా ఉంటుంది మరియు నియంత్రణ వాక్యూమ్ (3~8) x10^-1PA. సబ్‌స్ట్రేట్ 100~200V వోల్టేజ్‌తో బయాస్ పవర్ సప్లై యొక్క నెగటివ్ ఎలక్ట్రోడ్‌కి అనుసంధానించబడి ఉంది.

స్పట్టరింగ్ టైటానియం టార్గెట్ యొక్క విద్యుత్ సరఫరాను ఆన్ చేసిన తర్వాత, ఒక గ్లో డిశ్చార్జ్ ఉత్పత్తి అవుతుంది మరియు అధిక-శక్తి ఆర్గాన్ అయాన్లు స్పట్టరింగ్ టార్గెట్‌పై బాంబు దాడి చేస్తాయి, లక్ష్యం నుండి టైటానియం అణువులను చిమ్ముతాయి.

ప్రతిచర్య వాయువు నైట్రోజన్ ప్రవేశపెట్టబడింది మరియు టైటానియం అణువులు మరియు నైట్రోజన్ పూత గదిలో టైటానియం అయాన్లు మరియు నైట్రోజన్ అయాన్లుగా అయనీకరణం చేయబడతాయి. ఉపరితలానికి వర్తించే ప్రతికూల పక్షపాత విద్యుత్ క్షేత్రం యొక్క ఆకర్షణ కింద, టైటానియం అయాన్లు మరియు నైట్రోజన్ అయాన్లు రసాయన ప్రతిచర్య మరియు నిక్షేపణ కోసం ఉపరితల ఉపరితలంపైకి వేగవంతం అవుతాయి, తద్వారా టైటానియం నైట్రైడ్ ఫిల్మ్ పొర ఏర్పడుతుంది.

3. ఉపరితలం బయటకు తీయండి

ముందుగా నిర్ణయించిన ఫిల్మ్ మందాన్ని చేరుకున్న తర్వాత, స్పట్టరింగ్ పవర్ సప్లై, సబ్‌స్ట్రేట్ బయాస్ పవర్ సప్లై మరియు ఎయిర్ సోర్స్‌ను ఆపివేయండి. సబ్‌స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత 120 ℃ కంటే తక్కువగా ఉన్న తర్వాత, కోటింగ్ చాంబర్‌ను గాలితో నింపి, సబ్‌స్ట్రేట్‌ను బయటకు తీయండి.

ఈ వ్యాసం ప్రచురించబడినదిమాగ్నెట్రాన్ స్పట్టరింగ్ పూత యంత్ర తయారీదారు- గ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా.