ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரத்தின் செயல்முறை ஓட்டம்

1. குண்டுவீச்சு சுத்தம் செய்யும் அடி மூலக்கூறு

1.1) ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரம் அடி மூலக்கூறை சுத்தம் செய்ய பளபளப்பு வெளியேற்றத்தைப் பயன்படுத்துகிறது. அதாவது, அறைக்குள் ஆர்கான் வாயுவை சார்ஜ் செய்யவும், வெளியேற்ற மின்னழுத்தம் சுமார் 1000V ஆகும், மின்சார விநியோகத்தை இயக்கிய பிறகு, ஒரு பளபளப்பு வெளியேற்றம் உருவாக்கப்படுகிறது, மேலும் அடி மூலக்கூறு ஆர்கான் அயன் குண்டுவீச்சு மூலம் சுத்தம் செய்யப்படுகிறது.

1.2) தொழில்துறை ரீதியாக உயர்நிலை ஆபரணங்களை உற்பத்தி செய்யும் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரங்களில், சிறிய வில் மூலங்களால் வெளியிடப்படும் டைட்டானியம் அயனிகள் பெரும்பாலும் சுத்தம் செய்யப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திரம் ஒரு சிறிய வில் மூலத்துடன் பொருத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் சிறிய வில் மூல வெளியேற்றத்தால் உருவாக்கப்படும் வில் பிளாஸ்மாவில் உள்ள டைட்டானியம் அயன் ஸ்ட்ரீம் அடி மூலக்கூறை குண்டுவீசி சுத்தம் செய்யப் பயன்படுகிறது.

2. டைட்டானியம் நைட்ரைடு பூச்சு

டைட்டானியம் நைட்ரைடு மெல்லிய படலங்களை டெபாசிட் செய்யும்போது, ​​ஸ்பட்டரிங் செய்வதற்கான இலக்கு பொருள் டைட்டானியம் இலக்கு ஆகும். இலக்கு பொருள் ஸ்பட்டரிங் மின் விநியோகத்தின் எதிர்மறை மின்முனையுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது, மேலும் இலக்கு மின்னழுத்தம் 400~500V ஆகும்; ஆர்கான் ஃப்ளக்ஸ் நிலையானது, மேலும் கட்டுப்பாட்டு வெற்றிடம் (3~8) x10 ஆகும்.^-1PA. அடி மூலக்கூறு 100~200V மின்னழுத்தத்துடன், சார்பு மின் விநியோகத்தின் எதிர்மறை மின்முனையுடன் இணைக்கப்பட்டுள்ளது.

தெளிக்கும் டைட்டானியம் இலக்கின் மின்சார விநியோகத்தை இயக்கிய பிறகு, ஒரு பளபளப்பு வெளியேற்றம் உருவாகிறது, மேலும் உயர் ஆற்றல் கொண்ட ஆர்கான் அயனிகள் தெளிக்கும் இலக்கைத் தாக்கி, இலக்கிலிருந்து டைட்டானியம் அணுக்களைத் துப்புகின்றன.

எதிர்வினை வாயு நைட்ரஜன் அறிமுகப்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் டைட்டானியம் அணுக்கள் மற்றும் நைட்ரஜன் பூச்சு அறையில் டைட்டானியம் அயனிகள் மற்றும் நைட்ரஜன் அயனிகளாக அயனியாக்கம் செய்யப்படுகின்றன. அடி மூலக்கூறில் பயன்படுத்தப்படும் எதிர்மறை சார்பு மின்சார புலத்தின் ஈர்ப்பின் கீழ், டைட்டானியம் அயனிகள் மற்றும் நைட்ரஜன் அயனிகள் வேதியியல் எதிர்வினை மற்றும் படிவுக்காக அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பில் துரிதப்படுத்தப்பட்டு டைட்டானியம் நைட்ரைடு பட அடுக்கை உருவாக்குகின்றன.

3. அடி மூலக்கூறை வெளியே எடுக்கவும்

முன்னரே தீர்மானிக்கப்பட்ட படத் தடிமனை அடைந்த பிறகு, ஸ்பட்டரிங் மின்சாரம், அடி மூலக்கூறு சார்பு மின்சாரம் மற்றும் காற்று மூலத்தை அணைக்கவும். அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை 120 டிகிரி செல்சியஸை விடக் குறைந்த பிறகு, பூச்சு அறையை காற்றால் நிரப்பி, அடி மூலக்கூறை வெளியே எடுக்கவும்.

இந்தக் கட்டுரையை வெளியிட்டவர்மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்- குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா.