1. Подлога за чишћење бомбардовањем
1.1) Машина за распршивање користи сијајуће пражњење за чишћење подлоге. То јест, пуњење коморе аргоном је могуће под напоном пражњења од око 1000 V. Након укључивања напајања, генерише се сијајуће пражњење и подлога се чисти бомбардовањем јонима аргона.
1.2) У машинама за распршивање које индустријски производе висококвалитетне украсе, јони титанијума које емитују мали извори лука углавном се користе за чишћење. Машина за распршивање је опремљена малим извором лука, а ток јона титанијума у плазми лука коју генерише пражњење малог извора лука користи се за бомбардовање и чишћење подлоге.
2. Премаз од титанијум нитрида
Приликом наношења танких филмова титанијум нитрида, материјал мете за распршивање је титанијумска мета. Материјал мете је повезан са негативном електродом напајања за распршивање, а напон мете је 400~500V; флукс аргона је фиксан, а контролни вакуум је (3~8) x10-1ПА. Подлога је повезана са негативном електродом напајања преднапоном, са напоном од 100~200V.
Након укључивања напајања распршивајуће титанијумске мете, генерише се сијајуће пражњење, а високоенергетски јони аргона бомбардују распршивајућу мету, распршујући атоме титанијума са мете.
Реакциони гас азот се уводи, а атоми титанијума и азот се јонизују у јоне титанијума и јоне азота у комори за премазивање. Под утицајем негативног електричног поља примењеног на подлогу, јони титанијума и јони азота убрзавају се ка површини подлоге ради хемијске реакције и таложења, формирајући слој филма титанијум нитрида.
3. Извадите подлогу
Након достизања унапред одређене дебљине филма, искључите напајање за распршивање, напајање за преднапон подлоге и извор ваздуха. Након што температура подлоге падне испод 120 ℃, напуните комору за премазивање ваздухом и извадите подлогу.
Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за магнетронско распршивање– Гуангдонг Женхуа.
Време објаве: 07.04.2023.