1. Makinë për veshjen e joneve me katodë të zbrazët dhe makinë për veshjen e joneve me hark me tela të nxehtë
Pistoleta e katodës së zbrazët dhe pistoleta e harkut me tela të nxehtë janë instaluar në pjesën e sipërme të dhomës së veshjes, anoda është instaluar në pjesën e poshtme dhe dy spirale elektromagnetike janë instaluar në pjesën e sipërme dhe të poshtme të periferisë së dhomës së veshjes. Drita e harkut rrjedh elektronesh nga lart poshtë për të bërë lëvizje spirale.
2. Magnet i përhershëm plus kontroll elektromagnetik i burimit të vogël rrethor të harkut katodik
Bobina elektromagnetike përshpejton pikën e harkut për të bërë lëvizje rrotulluese në perimetrin e shënjestrës, gjë që zvogëlon kohën e qëndrimit të pikës së harkut në sipërfaqen e shënjestrës, zvogëlon sipërfaqen e pellgut të shkrirë dhe rafinon organizimin e shtresës së filmit.
3. Burim katodik i harkut me kontroll të dyfishtë elektromagnetik
Burimi i harkut katodik është i pajisur me dy spirale elektromagnetike, të cilat përmirësojnë shpejtësinë e rrotullimit të rrjedhës së elektroneve dhe përsosin organizimin e shtresës së filmit.
4. Magnetron Ciklotron PECVD
Dy spirale elektromagnetike janë instaluar jashtë dhomës së veshjes DC PECVD për të bërë që elektronet të rrotullohen, gjë që rrit probabilitetin e përplasjes midis elektroneve dhe gazit dhe përmirëson shkallën e disociimit të grimcave në shtresën e filmit.
5. ECR Mikrovalë PECVD
Në dhomën e veshjes jashtë, instalohen dy spirale elektromagnetike në pjesën e sipërme dhe të poshtme, të cilat mund të përmirësojnë shkallën e disociimit.
6. Shkarkimi i Dritës me Hark PECVD
Në dhomën e veshjes së pajisjeve PECVD të shkarkimit me hark, rreth instalimit të sipërm dhe të poshtëm të dy spiraleve elektromagnetike, depozitimi i filmit diamanti, fusha elektromagnetike koaksiale mund të rrotullohet rrjedhën e elektroneve të harkut për të stimuluar jonizimin e gazit të hidrokarbureve.
– Ky artikull është publikuar ngaprodhuesi i makinës së veshjes me vakumGuangdong Zhenhua
Koha e postimit: 24 tetor 2023