Geedi socodka socodka Mashiinka dahaarka ee sputtering

1. Substrate nadiifinta bamka

1.1). Taasi waa in la yiraahdo, ku dallac gaaska argon qolka, korantada sii deyntu waxay ku dhowdahay 1000V, Ka dib marka la shido korontada, dareere dhalaalaya ayaa soo baxaya, substrate-kana waxaa lagu nadiifiyaa bamka argon ion.

1.2) Mashiinnada dahaadhka ee wershadaha soo saara qurxinta dhamaadka-sare, ion titanium oo ay sii daayaan ilo yar yar ayaa inta badan loo isticmaalaa nadiifinta. Mashiinka daahan dahaadhka ah waxaa lagu qalabeeyaa il yar oo arc ah, iyo qulqulka ion titanium ee ku jira balasmaha arc ee ay dhaliso qulqulka isha yar ee arc ayaa loo isticmaalaa in lagu duqeeyo oo lagu nadiifiyo substrate-ka.

2. Titanium nitride daahan

Marka la dhigo titanium nitride filimaanta khafiifka ah, walxaha bartilmaameedka loogu talagalay xajinta waa bartilmaameedka titanium. Qalabka bartilmaameedku wuxuu ku xiran yahay korantada taban ee tamarta qulqulaya, iyo tamarta bartilmaameedku waa 400 ~ 500V; Qulqulka argon waa go'an yahay, faakuumka xakameyntu waa (3 ~ 8) x10^-1PA Substrate-ku wuxuu ku xiran yahay korantada taban ee korantada eexda, oo leh danab 100 ~ 200V.

Ka dib marka la shido korontadii yoolka tiitanium-ka, dareere dhalaal ah ayaa soo baxaya, iyo ions argon tamar sare leh ayaa duqaysa bartilmaameedka, atamyada titanium-ka ee ka soo qulqulaya bartilmaameedka.

nitrogen gaaska falcelinta ayaa la soo bandhigay, iyo atamka titanium iyo nitrogen ayaa ionized galay ion titanium iyo ion nitrogen ee qolka daahan. Marka la eego soo jiidashada duurka korantada ee xun ee lagu dabaqo substrate-ka, ion titanium iyo ions nitrogen waxay dardargeliyaan dusha sare ee substrate-ka falcelinta kiimikada iyo dhigista si ay u sameeyaan lakabka filimka nitride titanium.

3. Ka saar substrate-ka

Ka dib marka la gaaro dhumucda filimka la sii go'aamiyay, dami sahayda korantada, saadka eexda substrate, iyo isha hawada. Ka dib marka heerkulku ka hooseeyo 120 ℃, ka buuxi qolka daahan hawo oo soo saar substrate-ka.

Maqaalkan waxaa daabacaysoo saaraha mashiinka daahan daahan magnetron sputtering- Guangdong Zhenhua.