Fa'agasologa Fa'agasologa ole Sputtering Coating Machine

1. Mea e fa'amamāina ai pomu

1.1) Sputtering masini faʻapipiʻi faʻaaogaina le susulu e faʻamama ai le meaʻai. O lona uiga, faʻapipiʻi le kasa argon i totonu o le potu, faʻamalo le voltage e tusa ma le 1000V, A maeʻa ona faʻaogaina le eletise, e faʻatupuina le susulu, ma faʻamama le substrate e ala i le pomu argon.

1.2) I totonu o masini faʻapipiʻi faʻapipiʻi e gaosia ai mea teuteu maualuga, o titanium ions e faʻaosoina e puna arc laiti e tele lava ina faʻaaogaina mo le faʻamamaina. O loʻo faʻapipiʻiina le masini faʻapipiʻi sputtering i se tamaʻi puna arc, ma o le titanium ion stream i totonu o le arc plasma faʻatupuina e le faʻaogaina o le puna laʻititi o loʻo faʻaaogaina e pomu ma faʻamama le substrate.

2. Fa'alavalava nitride Titanium

Pe a teuina titanium nitride ata tifaga manifinifi, o le mea autu mo sputtering o titanium sini. O mea faʻatatau e fesoʻotaʻi atu i le eletise le lelei o le tuʻuina atu o le mana sputtering, ma o le voltage faʻamoemoe e 400 ~ 500V; O le argon flux o loʻo faʻamautu, ma o le vacuum faʻatonutonu e (3 ~ 8) x10^-1PA. O le substrate e fesoʻotaʻi atu i le eletise le lelei o le tuʻuina atu o le eletise, faʻatasi ai ma le voltage o le 100 ~ 200V.

Pe a uma ona ki le sapalai o le eletise o le sputtering titanium target, e maua ai se susulu malamalama, ma le malosi o argon ions e osofaʻia le taulaiga sputtering, sputtering titanium atoms mai le taulaiga.

Le tali kasa nitrogen ua folasia, ma o le titanium atoms ma nitrogen ua ionized i ions titanium ma ions nitrogen i totonu o le potu ufiufi. I lalo o le faatosinaga o le faaituau le lelei fanua eletise faaaogaina i le substrate, titanium ions ma nitrogen ions faatelevave i luga o le substrate mo le tali atu vailaau ma deposition e fausia ai se titanium nitride film layer.

3. Aveese le mea'ai

A uma ona o'o i le mafiafia o le ata, tape le sapalai o le paoa, le paoa fa'aituau, ma le puna ea. A maeʻa le vevela o le substrate e maualalo ifo i le 120 ℃, faʻatumu le potu faʻapipiʻi i le ea ma aveese le meaʻai.

O lenei tusiga ua lomia emasini fa'apipi'i fa'ato'a fa'amaneta gaosi masini- Guangdong Zhenhua.