اسپٽرنگ ڪوٽنگ مشين جي عمل جي وهڪري

1. بمباري صفائي سبسٽريٽ

1.1) اسپٽرنگ ڪوٽنگ مشين سبسٽريٽ کي صاف ڪرڻ لاءِ گلو ڊسچارج استعمال ڪندي آهي. يعني، آرگن گيس کي چيمبر ۾ چارج ڪريو، ڊسچارج وولٽيج تقريباً 1000V آهي، پاور سپلائي آن ڪرڻ کان پوءِ، هڪ گلو ڊسچارج پيدا ٿئي ٿو، ۽ سبسٽريٽ کي آرگن آئن بمباري ذريعي صاف ڪيو ويندو آهي.

1.2) صنعتي طور تي اعليٰ درجي جا زيور پيدا ڪندڙ اسپٽرنگ ڪوٽنگ مشينن ۾، ننڍڙن آرڪ ذريعن مان خارج ٿيندڙ ٽائيٽينيم آئن گهڻو ڪري صفائي لاءِ استعمال ٿيندا آهن. اسپٽرنگ ڪوٽنگ مشين هڪ ننڍڙي آرڪ سورس سان ليس آهي، ۽ ننڍي آرڪ سورس ڊسچارج ذريعي پيدا ٿيندڙ آرڪ پلازما ۾ ٽائيٽينيم آئن اسٽريم کي سبسٽريٽ تي بمباري ۽ صاف ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.

2. ٽائيٽينيم نائٽرائڊ ڪوٽنگ

جڏهن ٽائيٽينيم نائٽرائڊ پتلي فلمون جمع ڪيون وڃن، اسپٽرنگ لاءِ ٽارگيٽ مواد ٽائيٽينيم ٽارگيٽ آهي. ٽارگيٽ مواد اسپٽرنگ پاور سپلائي جي منفي اليڪٽرروڊ سان ڳنڍيل آهي، ۽ ٽارگيٽ وولٽيج 400 ~ 500V آهي؛ آرگن فلوڪس مقرر ٿيل آهي، ۽ ڪنٽرول ويڪيوم (3 ~ 8) x10 آهي.^-1PA. سبسٽريٽ بائس پاور سپلائي جي منفي اليڪٽرروڊ سان ڳنڍيل آهي، جنهن جو وولٽيج 100~200V آهي.

اسپٽرنگ ٽائنيئم ٽارگيٽ جي پاور سپلائي کي آن ڪرڻ کان پوءِ، هڪ چمڪندڙ خارج ٿيڻ پيدا ٿئي ٿو، ۽ اعليٰ توانائي وارا آرگن آئن اسپٽرنگ ٽارگيٽ تي بمباري ڪن ٿا، ٽائنيئم ايٽمز کي ٽارگيٽ مان ڪڍي ڇڏيندا آهن.

رد عمل گيس نائٽروجن متعارف ڪرايو ويندو آهي، ۽ ٽائيٽينيم ايٽم ۽ نائٽروجن ڪوٽنگ چيمبر ۾ ٽائيٽينيم آئن ۽ نائٽروجن آئن ۾ آئنائيز ڪيا ويندا آهن. سبسٽريٽ تي لاڳو ڪيل منفي تعصب برقي ميدان جي ڪشش هيٺ، ٽائيٽينيم آئن ۽ نائٽروجن آئن ڪيميائي رد عمل ۽ جمع ڪرڻ لاءِ سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي تيز ٿين ٿا ته جيئن ٽائيٽينيم نائٽرائڊ فلم پرت ٺاهي سگهجي.

3. سبسٽريٽ ڪڍو

اڳواٽ مقرر ٿيل فلم جي ٿولهه تي پهچڻ کان پوءِ، اسپٽرنگ پاور سپلائي، سبسٽريٽ بائيس پاور سپلائي، ۽ هوا جو ذريعو بند ڪريو. سبسٽريٽ جو گرمي پد 120 ℃ کان گهٽ ٿيڻ کان پوءِ، ڪوٽنگ چيمبر کي هوا سان ڀريو ۽ سبسٽريٽ کي ٻاهر ڪڍو.

هي مضمون شايع ٿيل آهيميگنيٽرون اسپٽرنگ ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙ- گوانگڊونگ زينوا.