Технологический процесс машины для нанесения покрытий методом напыления

1. Бомбардировочная очистка субстрата

1.1) Машина для нанесения покрытия распылением использует тлеющий разряд для очистки подложки. То есть, заряжает газ аргон в камере, напряжение разряда составляет около 1000 В. После включения питания генерируется тлеющий разряд, и подложка очищается бомбардировкой ионами аргона.

1.2) В машинах для нанесения покрытий распылением, которые в промышленных масштабах производят высококачественные украшения, для очистки в основном используются ионы титана, испускаемые небольшими дуговыми источниками. Машина для нанесения покрытий распылением оснащена небольшим дуговым источником, а поток ионов титана в дуговой плазме, генерируемый разрядом небольшого дугового источника, используется для бомбардировки и очистки подложки.

2. Покрытие из нитрида титана

При нанесении тонких пленок нитрида титана целевым материалом для распыления является титановая мишень. Целевой материал подключается к отрицательному электроду источника питания распыления, а целевое напряжение составляет 400~500 В; поток аргона фиксирован, а контрольный вакуум составляет (3~8) x10^-1PA. Подложка подключена к отрицательному электроду источника питания смещения, с напряжением 100~200 В.

После включения питания распыляемой титановой мишени возникает тлеющий разряд, и высокоэнергетические ионы аргона бомбардируют распыляемую мишень, выбивая из нее атомы титана.

Вводится реакционный газ азот, и атомы титана и азот ионизируются в ионы титана и ионы азота в камере покрытия. Под действием отрицательного электрического поля смещения, приложенного к подложке, ионы титана и ионы азота ускоряются к поверхности подложки для химической реакции и осаждения с образованием слоя пленки нитрида титана.

3. Выньте субстрат.

После достижения заданной толщины пленки отключите источник питания распыления, источник питания смещения подложки и источник воздуха. После того, как температура подложки опустится ниже 120 ℃, заполните камеру для нанесения покрытия воздухом и выньте подложку.

Эта статья опубликованапроизводитель оборудования для нанесения покрытий методом магнетронного распыления– Гуандун Чжэньхуа.