1. Substrat de curățare prin bombardament
1.1) Mașina de pulverizare utilizează descărcare luminiscentă pentru a curăța substratul. Adică, introduce gaz argon în cameră, tensiunea de descărcare fiind de aproximativ 1000V. După pornirea alimentării, se generează o descărcare luminiscentă, iar substratul este curățat prin bombardament cu ioni de argon.
1.2) În mașinile de pulverizare care produc industrial ornamente de înaltă calitate, ionii de titan emiși de surse cu arc mic sunt utilizați în principal pentru curățare. Mașina de pulverizare este echipată cu o sursă cu arc mic, iar fluxul de ioni de titan din plasma arcului generat de descărcarea sursei cu arc mic este utilizat pentru bombardarea și curățarea substratului.
2. Acoperire cu nitrură de titan
La depunerea de pelicule subțiri de nitrură de titan, materialul țintă pentru pulverizare este titanul. Materialul țintă este conectat la electrodul negativ al sursei de alimentare pentru pulverizare, iar tensiunea țintă este de 400~500V; fluxul de argon este fix, iar vidul de control este de (3~8) x10-1PA. Substratul este conectat la electrodul negativ al sursei de polarizare, cu o tensiune de 100~200V.
După pornirea alimentării cu energie a țintei de titan pentru pulverizare, se generează o descărcare luminescentă, iar ionii de argon de înaltă energie bombardează ținta de pulverizare, eliminând atomii de titan din țintă.
Se introduce azotul gazos de reacție, iar atomii de titan și azotul sunt ionizați în ioni de titan și ioni de azot în camera de acoperire. Sub atracția câmpului electric de polarizare negativă aplicat substratului, ionii de titan și ionii de azot accelerează la suprafața substratului pentru reacție chimică și depunere, formând un strat de peliculă de nitrură de titan.
3. Scoateți substratul
După atingerea grosimii predeterminate a peliculei, opriți alimentarea pentru pulverizare, alimentarea pentru polarizarea substratului și sursa de aer. După ce temperatura substratului scade sub 120 ℃, umpleți camera de acoperire cu aer și scoateți substratul.
Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire prin pulverizare magnetronică– Guangdong Zhenhua.
Data publicării: 07 aprilie 2023