۱. د بمبارۍ پاکولو سبسټریټ
۱.۱) د سپټرینګ کوټینګ ماشین د سبسټریټ پاکولو لپاره د ګلو ډیسچارج کاروي. دا په دې معنی ده چې ارګون ګاز په چیمبر کې چارج کړئ، د خارجیدو ولتاژ شاوخوا 1000V دی، د بریښنا رسولو له فعالولو وروسته، د ګلو ډیسچارج رامینځته کیږي، او سبسټریټ د ارګون ایون بمبارۍ لخوا پاکیږي.
۱.۲) د سپټرینګ کوټینګ ماشینونو کې چې په صنعتي ډول لوړ پای زیورات تولیدوي، د کوچنیو آرک سرچینو لخوا خارج شوي ټایټانیوم ایونونه ډیری وخت د پاکولو لپاره کارول کیږي. د سپټرینګ کوټینګ ماشین د کوچني آرک سرچینې سره سمبال دی، او د کوچني آرک سرچینې خارج کیدو لخوا رامینځته شوي آرک پلازما کې د ټایټانیوم ایون جریان د سبسټریټ بمبارولو او پاکولو لپاره کارول کیږي.
۲. د ټایټانیوم نایټرایډ پوښ
کله چې د ټایټانیوم نایټرایډ پتلي فلمونه زیرمه کوئ، د سپټرینګ لپاره هدف مواد د ټایټانیوم هدف دی. هدف مواد د سپټرینګ بریښنا رسولو منفي الکترود سره وصل دی، او د هدف ولتاژ 400 ~ 500V دی؛ د ارګون فلکس ثابت دی، او د کنټرول خلا (3 ~ 8) x10 ده-1PA. سبسټریټ د بایس بریښنا رسولو منفي الکترود سره وصل دی، د 100 ~ 200V ولټاژ سره.
د سپټرینګ ټایټانیوم هدف د بریښنا رسولو له فعالولو وروسته، د چمکۍ خارجیدل رامینځته کیږي، او د لوړ انرژۍ ارګون آئنونه د سپټرینګ هدف بمباري کوي، د هدف څخه د ټایټانیوم اتومونه تویوي.
د عکس العمل ګاز نایتروجن معرفي کیږي، او د ټایټانیوم اتومونه او نایتروجن د کوټینګ چیمبر کې د ټایټانیوم ایونونو او نایتروجن ایونونو ته ایونیز کیږي. د منفي تعصب بریښنایی ساحې د جذب لاندې چې په سبسټریټ باندې پلي کیږي، د ټایټانیوم ایونونه او نایتروجن ایونونه د کیمیاوي تعامل او زیرمه کولو لپاره د سبسټریټ سطحې ته ګړندي کیږي ترڅو د ټایټانیوم نایټرایډ فلم طبقه جوړه کړي.
۳. سبسټریټ وباسئ
د فلم د ټاکل شوي ضخامت ته رسیدو وروسته، د سپټرینګ بریښنا رسولو، د سبسټریټ تعصب بریښنا رسولو، او د هوا سرچینه بنده کړئ. وروسته له دې چې د سبسټریټ تودوخه د 120 ℃ څخه ټیټه شي، د کوټینګ خونه د هوا سره ډکه کړئ او سبسټریټ وباسئ.
دا مقاله د لخوا خپره شوې دهد میګنیټرون سپټرینګ کوټینګ ماشین جوړونکی- ګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: اپریل-۰۷-۲۰۲۳