Przepływ procesu w maszynie do powlekania rozpyłowego

1. Bombardowanie podłoża czyszczącego

1.1) Maszyna do powlekania rozpyłowego wykorzystuje wyładowanie jarzeniowe do czyszczenia podłoża. Oznacza to, że ładuje gaz argonowy do komory, napięcie rozładowania wynosi około 1000 V. Po włączeniu zasilania generowane jest wyładowanie jarzeniowe, a podłoże jest czyszczone przez bombardowanie jonami argonu.

1.2) W maszynach do napylania powłok, które przemysłowo produkują ozdoby wysokiej jakości, jony tytanu emitowane przez małe źródła łuku są najczęściej używane do czyszczenia. Maszyna do napylania powłok jest wyposażona w małe źródło łuku, a strumień jonów tytanu w plazmie łuku generowanej przez wyładowanie małego źródła łuku jest używany do bombardowania i czyszczenia podłoża.

2. Powłoka azotku tytanu

Podczas osadzania cienkich warstw azotku tytanu, materiałem docelowym do rozpylania jest cel tytanowy. Materiał docelowy jest podłączony do elektrody ujemnej zasilacza rozpylającego, a napięcie docelowe wynosi 400~500 V; strumień argonu jest stały, a próżnia kontrolna wynosi (3~8) x10^-1PA. Podłoże jest podłączone do ujemnej elektrody zasilacza polaryzacji, o napięciu 100~200V.

Po włączeniu zasilania tarczy rozpylającej z tytanu, generowane jest wyładowanie jarzeniowe, a jony argonu o dużej energii bombardują tarczę rozpylającą, rozpylając atomy tytanu z tarczy.

Wprowadzany jest gaz reakcyjny azot, a atomy tytanu i azot są jonizowane do jonów tytanu i jonów azotu w komorze powlekania. Pod wpływem przyciągania ujemnego pola elektrycznego polaryzacji przyłożonego do podłoża jony tytanu i jony azotu przyspieszają do powierzchni podłoża w celu reakcji chemicznej i osadzania, tworząc warstwę azotku tytanu.

3. Wyjmij podłoże

Po osiągnięciu ustalonej grubości powłoki wyłącz zasilanie rozpylania, zasilanie polaryzacji podłoża i źródło powietrza. Po obniżeniu temperatury podłoża do 120 ℃ napełnij komorę powlekania powietrzem i wyjmij podłoże.

Niniejszy artykuł został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania metodą rozpylania magnetronowego– Guangdong Zhenhua.