ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਦਾ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਪ੍ਰਵਾਹ

1. ਬੰਬਾਰੀ ਸਫਾਈ ਸਬਸਟਰੇਟ

1.1) ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਭਾਵ, ਆਰਗਨ ਗੈਸ ਨੂੰ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਚਾਰਜ ਕਰੋ, ਡਿਸਚਾਰਜ ਵੋਲਟੇਜ ਲਗਭਗ 1000V ਹੈ, ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਚਾਲੂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇੱਕ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਆਰਗਨ ਆਇਨ ਬੰਬਾਰੀ ਦੁਆਰਾ ਸਾਫ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

1.2) ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨਾਂ ਵਿੱਚ ਜੋ ਉਦਯੋਗਿਕ ਤੌਰ 'ਤੇ ਉੱਚ-ਅੰਤ ਦੇ ਗਹਿਣੇ ਤਿਆਰ ਕਰਦੀਆਂ ਹਨ, ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤਾਂ ਦੁਆਰਾ ਨਿਕਲਣ ਵਾਲੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਜ਼ਿਆਦਾਤਰ ਸਫਾਈ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ। ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਇੱਕ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤ ਨਾਲ ਲੈਸ ਹੁੰਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਛੋਟੇ ਚਾਪ ਸਰੋਤ ਡਿਸਚਾਰਜ ਦੁਆਰਾ ਪੈਦਾ ਹੋਏ ਚਾਪ ਪਲਾਜ਼ਮਾ ਵਿੱਚ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਸਟ੍ਰੀਮ ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਬੰਬਾਰੀ ਅਤੇ ਸਾਫ਼ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ।

2. ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਕੋਟਿੰਗ

ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਪਤਲੀਆਂ ਫਿਲਮਾਂ ਜਮ੍ਹਾ ਕਰਦੇ ਸਮੇਂ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਲਈ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਹੁੰਦੀ ਹੈ। ਨਿਸ਼ਾਨਾ ਸਮੱਗਰੀ ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਨਕਾਰਾਤਮਕ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨਾਲ ਜੁੜੀ ਹੋਈ ਹੈ, ਅਤੇ ਟੀਚਾ ਵੋਲਟੇਜ 400~500V ਹੈ; ਆਰਗਨ ਫਲਕਸ ਸਥਿਰ ਹੈ, ਅਤੇ ਕੰਟਰੋਲ ਵੈਕਿਊਮ (3~8) x10 ਹੈ।^-1PA। ਸਬਸਟਰੇਟ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਦੇ ਨੈਗੇਟਿਵ ਇਲੈਕਟ੍ਰੋਡ ਨਾਲ ਜੁੜਿਆ ਹੋਇਆ ਹੈ, ਜਿਸਦਾ ਵੋਲਟੇਜ 100~200V ਹੈ।

ਸਪਟਰਿੰਗ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਟਾਰਗੇਟ ਦੀ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ ਚਾਲੂ ਕਰਨ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਇੱਕ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਪੈਦਾ ਹੁੰਦਾ ਹੈ, ਅਤੇ ਉੱਚ-ਊਰਜਾ ਵਾਲੇ ਆਰਗਨ ਆਇਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਟਾਰਗੇਟ 'ਤੇ ਬੰਬਾਰੀ ਕਰਦੇ ਹਨ, ਟਾਰਗੇਟ ਤੋਂ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਪਰਮਾਣੂਆਂ ਨੂੰ ਸਪਟਰ ਕਰਦੇ ਹਨ।

ਪ੍ਰਤੀਕਿਰਿਆ ਗੈਸ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਪੇਸ਼ ਕੀਤੀ ਜਾਂਦੀ ਹੈ, ਅਤੇ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਪਰਮਾਣੂ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਨੂੰ ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਵਿੱਚ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨਾਂ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨਾਂ ਵਿੱਚ ਆਇਓਨਾਈਜ਼ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ। ਸਬਸਟਰੇਟ 'ਤੇ ਲਾਗੂ ਕੀਤੇ ਗਏ ਨੈਗੇਟਿਵ ਬਾਈਸ ਇਲੈਕਟ੍ਰਿਕ ਫੀਲਡ ਦੇ ਆਕਰਸ਼ਣ ਦੇ ਤਹਿਤ, ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਆਇਨ ਅਤੇ ਨਾਈਟ੍ਰੋਜਨ ਆਇਨ ਰਸਾਇਣਕ ਪ੍ਰਤੀਕ੍ਰਿਆ ਅਤੇ ਜਮ੍ਹਾਂ ਹੋਣ ਲਈ ਸਬਸਟਰੇਟ ਦੀ ਸਤ੍ਹਾ 'ਤੇ ਤੇਜ਼ ਹੋ ਜਾਂਦੇ ਹਨ ਤਾਂ ਜੋ ਟਾਈਟੇਨੀਅਮ ਨਾਈਟਰਾਈਡ ਫਿਲਮ ਪਰਤ ਬਣਾਈ ਜਾ ਸਕੇ।

3. ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢੋ

ਪਹਿਲਾਂ ਤੋਂ ਨਿਰਧਾਰਤ ਫਿਲਮ ਮੋਟਾਈ 'ਤੇ ਪਹੁੰਚਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਪਟਰਿੰਗ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਸਬਸਟਰੇਟ ਬਾਈਸ ਪਾਵਰ ਸਪਲਾਈ, ਅਤੇ ਹਵਾ ਸਰੋਤ ਨੂੰ ਬੰਦ ਕਰ ਦਿਓ। ਸਬਸਟਰੇਟ ਦਾ ਤਾਪਮਾਨ 120 ℃ ਤੋਂ ਘੱਟ ਹੋਣ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਕੋਟਿੰਗ ਚੈਂਬਰ ਨੂੰ ਹਵਾ ਨਾਲ ਭਰੋ ਅਤੇ ਸਬਸਟਰੇਟ ਨੂੰ ਬਾਹਰ ਕੱਢੋ।

ਇਹ ਲੇਖ ਪ੍ਰਕਾਸ਼ਿਤ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਹੈਮੈਗਨੇਟ੍ਰੋਨ ਸਪਟਰਿੰਗ ਕੋਟਿੰਗ ਮਸ਼ੀਨ ਨਿਰਮਾਤਾ- ਗੁਆਂਗਡੋਂਗ ਜ਼ੇਨਹੂਆ