୧. ବୋମାମାଡ଼ ସଫା କରିବା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍
୧.୧) ସ୍ପଟରିଂ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ବ୍ୟବହାର କରେ। ଅର୍ଥାତ୍, ଆର୍ଗନ୍ ଗ୍ୟାସକୁ ଚାମ୍ବରରେ ଚାର୍ଜ କରନ୍ତୁ, ଡିସଚାର୍ଜ ଭୋଲଟେଜ୍ ପ୍ରାୟ ୧୦୦୦V, ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଚାଲୁ କରିବା ପରେ, ଏକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ, ଏବଂ ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ୍ ବୋମାମାଡ଼ ଦ୍ୱାରା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ସଫା କରାଯାଏ।
୧.୨) ଶିଳ୍ପଗତ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚମାନର ଅଳଙ୍କାର ଉତ୍ପାଦନ କରୁଥିବା ସ୍ପଟରିଂ କୋଟିଂ ମେସିନଗୁଡ଼ିକରେ, ଛୋଟ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସଗୁଡ଼ିକ ଦ୍ୱାରା ନିର୍ଗତ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ମୁଖ୍ୟତଃ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ। ସ୍ପଟରିଂ କୋଟିଂ ମେସିନ୍ ଏକ ଛୋଟ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ସହିତ ସଜ୍ଜିତ, ଏବଂ ଛୋଟ ଆର୍କ୍ ଉତ୍ସ ନିର୍ଗମନ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୋଇଥିବା ଆର୍କ୍ ପ୍ଲାଜମାରେ ଥିବା ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ ଷ୍ଟ୍ରିମ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ବୋମା ପକାଇବା ଏବଂ ସଫା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
୨. ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଆବରଣ
ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ସମୟରେ, ସ୍ପଟରିଂ ପାଇଁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ହେଉଛି ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଲକ୍ଷ୍ୟ। ଟାର୍ଗେଟ ସାମଗ୍ରୀ ସ୍ପଟରିଂ ପାୱାର ସପ୍ଲାଇର ନକାରାତ୍ମକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ, ଏବଂ ଟାର୍ଗେଟ ଭୋଲଟେଜ୍ ହେଉଛି 400~500V; ଆର୍ଗନ୍ ଫ୍ଲକ୍ସ ସ୍ଥିର, ଏବଂ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ହେଉଛି (3~8) x10।-1PA। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାୟାସ୍ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏର ନକାରାତ୍ମକ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସହିତ ସଂଯୁକ୍ତ, ଯାହାର ଭୋଲଟେଜ୍ 100~200V।
ସ୍ପଟରିଂ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଟାର୍ଗେଟର ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଚାଲୁ କରିବା ପରେ, ଏକ ଗ୍ଲୋ ଡିସଚାର୍ଜ ହୁଏ, ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ଶକ୍ତି ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ଉପରେ ବୋମା ମାଡ଼ କରନ୍ତି, ଟାର୍ଗେଟରୁ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ସ୍ପଟର କରନ୍ତି।
ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ପ୍ରବର୍ତ୍ତିତ ହୁଏ, ଏବଂ ଆବରଣ ଚାମ୍ବରରେ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ପରମାଣୁ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନିତ ହୋଇ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ୍ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ୍ରେ ପରିଣତ ହୁଏ। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ରେ ପ୍ରୟୋଗ ହୋଇଥିବା ନକାରାତ୍ମକ ପକ୍ଷ ବୈଦ୍ୟୁତିକ କ୍ଷେତ୍ରର ଆକର୍ଷଣ ଅଧୀନରେ, ଟାଇଟାନିୟମ୍ ଆୟନ୍ ଏବଂ ନାଇଟ୍ରୋଜେନ୍ ଆୟନ୍ଗୁଡ଼ିକ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଏବଂ ଜମା ପାଇଁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ପୃଷ୍ଠକୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୋଇ ଏକ ଟାଇଟାନିୟମ୍ ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ଗଠନ କରନ୍ତି।
୩. ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାହାର କରନ୍ତୁ
ପୂର୍ବନିର୍ଦ୍ଧାରିତ ଫିଲ୍ମ ଘନତାରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ, ସ୍ପଟରିଂ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ, ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାୟାସ୍ ପାୱାର ସପ୍ଲାଏ ଏବଂ ବାୟୁ ଉତ୍ସକୁ ବନ୍ଦ କରନ୍ତୁ। ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ତାପମାତ୍ରା 120 ℃ ରୁ କମ୍ ହେବା ପରେ, ଆବରଣ ଚାମ୍ବରକୁ ବାୟୁରେ ପୂରଣ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବାହାର କରନ୍ତୁ।
ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଛିମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ମେସିନ୍ ନିର୍ମାତା- ଗୁଆଙ୍ଗଡଙ୍ଗ ଜେନହୁଆ |
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଏପ୍ରିଲ-୦୭-୨୦୨୩