१. बमबारी सफाई सब्सट्रेट
१.१) स्पटरिङ कोटिंग मेसिनले सब्सट्रेट सफा गर्न ग्लो डिस्चार्ज प्रयोग गर्छ। अर्थात्, आर्गन ग्यासलाई चेम्बरमा चार्ज गर्नुहोस्, डिस्चार्ज भोल्टेज लगभग १०००V हुन्छ। पावर सप्लाई अन गरेपछि, ग्लो डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, र सब्सट्रेट आर्गन आयन बमबारीद्वारा सफा गरिन्छ।
१.२) औद्योगिक रूपमा उच्च-अन्तका गहनाहरू उत्पादन गर्ने स्पटरिङ कोटिंग मेसिनहरूमा, साना आर्क स्रोतहरूबाट उत्सर्जित टाइटेनियम आयनहरू प्रायः सफाईको लागि प्रयोग गरिन्छ। स्पटरिङ कोटिंग मेसिन सानो आर्क स्रोतले सुसज्जित छ, र सानो आर्क स्रोत डिस्चार्जबाट उत्पन्न आर्क प्लाज्मामा रहेको टाइटेनियम आयन स्ट्रिम सब्सट्रेटलाई बमबारी र सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ।
२. टाइटेनियम नाइट्राइड कोटिंग
टाइटेनियम नाइट्राइड पातलो फिल्महरू जम्मा गर्दा, स्पटरिङको लागि लक्षित सामग्री टाइटेनियम लक्ष्य हो। लक्षित सामग्री स्पटरिङ पावर सप्लाईको नकारात्मक इलेक्ट्रोडसँग जोडिएको छ, र लक्षित भोल्टेज ४०० ~ ५००V छ; आर्गन फ्लक्स निश्चित छ, र नियन्त्रण भ्याकुम (३ ~ ८) x१० छ।-1PA। सब्सट्रेट बायस पावर सप्लाईको नकारात्मक इलेक्ट्रोडमा जोडिएको छ, जसको भोल्टेज १००~२००V छ।
स्पटरिङ टाइटेनियम लक्ष्यको पावर सप्लाई अन गरेपछि, एक चमक डिस्चार्ज उत्पन्न हुन्छ, र उच्च-ऊर्जा आर्गन आयनहरूले स्पटरिङ लक्ष्यमा बमबारी गर्छन्, लक्ष्यबाट टाइटेनियम परमाणुहरू फ्याँक्छन्।
प्रतिक्रिया ग्यास नाइट्रोजन परिचय गरिन्छ, र टाइटेनियम परमाणुहरू र नाइट्रोजनलाई कोटिंग चेम्बरमा टाइटेनियम आयनहरू र नाइट्रोजन आयनहरूमा आयनीकृत गरिन्छ। सब्सट्रेटमा लागू गरिएको नकारात्मक पूर्वाग्रह विद्युत क्षेत्रको आकर्षण अन्तर्गत, टाइटेनियम आयनहरू र नाइट्रोजन आयनहरू रासायनिक प्रतिक्रिया र निक्षेपको लागि सब्सट्रेटको सतहमा तीव्र हुन्छन् जसले टाइटेनियम नाइट्राइड फिल्म तह बनाउँछ।
३. सब्सट्रेट निकाल्नुहोस्
पूर्वनिर्धारित फिल्म मोटाईमा पुगेपछि, स्पटरिङ पावर सप्लाई, सब्सट्रेट बायस पावर सप्लाई, र हावा स्रोत बन्द गर्नुहोस्। सब्सट्रेटको तापक्रम १२० डिग्री सेल्सियस भन्दा कम भएपछि, कोटिंग चेम्बरलाई हावाले भर्नुहोस् र सब्सट्रेट बाहिर निकाल्नुहोस्।
यो लेख प्रकाशित गरिएको होम्याग्नेट्रोन स्पटरिङ कोटिंग मेसिन निर्माता- गुआंग्डोंग Zhenhua।
पोस्ट समय: अप्रिल-०७-२०२३