Indium Tin Oxide (Indium Tin Oxide, ITO ဟုရည်ညွှန်းသည်) သည် ကျယ်ပြန့်သော ကြိုးဝိုင်းကွာဟမှု၊ ပြင်းထန်စွာ doped n-type ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ၊ မြင်သာသောအလင်းထုတ်လွှင့်မှုနှင့် ခံနိုင်ရည်နည်းသောလက္ခဏာများပါရှိသောကြောင့် ဆိုလာဆဲလ်များ၊ ပြားချပ်ချပ်ပြကွက်များ၊ အီလက်ထရိုခရိုမစ်ပြတင်းပေါက်များ၊ inorganic နှင့် အော်ဂဲနစ်ပါးလွှာသောဖလင် electroluminescence နှင့် ultraviolet နှင့် လေဆာ၊ အခြားကိရိယာများကို ကျယ်ကျယ်ပြန့်ပြန့်အသုံးပြုသည်။ ITO ဖလင်များကို လေဆာပစ်ခြင်း၊ sputtering၊ chemical vapor deposition၊ spray thermal decomposition, sol-gel, evaporation အစရှိသည်တို့ အပါအဝင် အငွေ့ပျံခြင်းနည်းလမ်းများထဲတွင် အသုံးအများဆုံးမှာ electron beam evaporation ဖြစ်သည်။
ITO ဖလင်ကို လေဆာပစ်ခြင်း၊ sputtering၊ chemical vapor deposition၊ spray pyrolysis၊ sol-gel၊ evaporation အစရှိသည်တို့ အပါအဝင် အသုံးများသော အငွေ့ပျံခြင်းနည်းလမ်းမှာ electron beam evaporation အပါအဝင် ITO film ကို ပြင်ဆင်ရန် နည်းလမ်းများစွာ ရှိပါသည်။ ITO ရုပ်ရှင်များ၏ အငွေ့ပျံခြင်းပြင်ဆင်မှုမှာ များသောအားဖြင့် နည်းလမ်းနှစ်မျိုးရှိပါသည်- တစ်ခုမှာ သန့်စင်မှုမြင့်မားသော In၊ Sn သတ္တုစပ်ကို အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုခြင်း၊ တုံ့ပြန်မှုအငွေ့ပျံခြင်းအတွက် အောက်ဆီဂျင်လေထုထဲတွင်၊ ဒုတိယမှာ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော In2O3:, SnO2 အရောအနှောကို တိုက်ရိုက်အငွေ့ပျံခြင်းအတွက် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုခြင်းဖြစ်သည်။ မြင့်မားသော transmittance နှင့် low resistance ရှိသောရုပ်ရှင်ကိုပြုလုပ်ရန်အတွက်၊ ယေဘုယျအားဖြင့်ပိုမိုမြင့်မားသောအလွှာအပူချိန်တစ်ခုလိုအပ်သည်သို့မဟုတ်ဖလင်၏နောက်ဆက်တွဲ annealing လိုအပ်သည်။ HR Fallah et al. အီလက်ထရွန်အလင်းတန်းများ အငွေ့ပျံခြင်းနည်းလမ်းကို အပူချိန်နိမ့်သောနေရာတွင် ITO ပါးလွှာသော ဖလင်များကို အပ်နှံရန်၊ စုဆောင်းမှုနှုန်း၊ လျှပ်စီးကြောင်း၏ အပူချိန်နှင့် ဖလင်၏ တည်ဆောက်ပုံ၊ လျှပ်စစ်နှင့် အလင်းဆိုင်ရာ ဂုဏ်သတ္တိများအပေါ် အကျိုးသက်ရောက်မှုကို လေ့လာရန်၊ စုဆောင်းမှုနှုန်းကို လျှော့ချခြင်းသည် အပူချိန်နိမ့်သော စိုက်ပျိုးထားသော ရုပ်ရှင်များ၏ ခုခံနိုင်စွမ်းကို လျော့ကျစေနိုင်ကြောင်း ၎င်းတို့က ထောက်ပြခဲ့သည်။ မြင်နိုင်သောအလင်း၏ထုတ်လွှင့်မှုသည် 92% ထက်ပိုပြီး ခုခံနိုင်စွမ်းမှာ 7X10-4Ωcm ဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် အခန်းအပူချိန် 350 ~ 550 ဒီဂရီတွင် စိုက်ပျိုးထားသော ITO ရုပ်ရှင်များကို ချေမှုန်းပြီး အပူချိန်မြင့်မားလေ၊ ITO ရုပ်ရှင်များ၏ ပုံဆောင်ခဲများ ပိုမိုကောင်းမွန်လေဖြစ်ကြောင်း တွေ့ရှိရပါသည်။ 550 ℃ တွင် ဖြာထွက်ပြီးနောက် ရုပ်ရှင်များ၏ မြင်နိုင်သော အလင်းပို့လွှတ်မှုသည် 93% ရှိပြီး စပါးအရွယ်အစားမှာ 37nm ခန့်ဖြစ်သည်။ ပလာစမာ-အထောက်အကူပြုနည်းလမ်းသည် ဖလင်ဖွဲ့စည်းစဉ်အတွင်း အလွှာအပူချိန်ကိုလည်း လျှော့ချပေးနိုင်သည်၊ ၎င်းသည် ဖလင်ဖွဲ့စည်းခြင်းအတွက် အရေးကြီးဆုံးအချက်ဖြစ်ပြီး ပုံဆောင်ခဲသည် အရေးကြီးဆုံးလည်းဖြစ်သည်။ ပလာစမာ-အထောက်အကူပြုနည်းလမ်းသည် ဖလင်ဖွဲ့စည်းစဉ်အတွင်း အလွှာအပူချိန်ကိုလည်း လျှော့ချနိုင်ပြီး အစစ်ခံမှုမှရရှိသော ITO ဖလင်သည် စွမ်းဆောင်ရည်ကောင်းမွန်ပါသည်။ S. Laux et al မှပြင်ဆင်ထားသော ITO ရုပ်ရှင်၏ခံနိုင်ရည်အား။ အလွန်နိမ့်သည်၊ 5*10-”Ωcm၊ နှင့် 550nm တွင် အလင်းစုပ်ယူမှုသည် 5% ထက်နည်းပြီး ဖလင်၏ ခံနိုင်ရည်အားနှင့် အလင်းသွင်းမှုအတွင်း အောက်ဆီဂျင်ဖိအားကို ပြောင်းလဲခြင်းဖြင့်လည်း ပြောင်းလဲပါသည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
စာတိုက်အချိန်- မတ်-၂၃-၂၀၂၄