Indiumtinoxide (afgekort ITO) is een n-type halfgeleidermateriaal met een brede bandafstand en hoge dotering. Het heeft een hoge lichtdoorlatendheid in het zichtbare spectrum en een lage soortelijke weerstand, waardoor het veelvuldig wordt gebruikt in zonnecellen, platte beeldschermen, elektrochrome ramen, anorganische en organische dunnefilm-elektroluminescentie, laserdiode's, ultravioletdetectoren en andere fotovoltaïsche apparaten. Er bestaan diverse methoden voor de bereiding van ITO-films, waaronder gepulseerde laserdepositie, sputteren, chemische dampdepositie, thermische sproeidepositie, sol-gel en verdamping. Van de verdampingsmethoden is elektronenbundelverdamping de meest gebruikte.
Er zijn veel manieren om ITO-films te produceren, waaronder gepulseerde laserdepositie, sputteren, chemische dampdepositie, spuitpyrolyse, sol-gel, verdamping, enzovoort. De meest gebruikte verdampingsmethode is elektronenbundelverdamping. De verdampingsbereiding van ITO-films kan op twee manieren: de eerste is het gebruik van een zeer zuivere In-Sn-legering als bronmateriaal, waarbij de reactieverdamping plaatsvindt in een zuurstofatmosfeer; de tweede is het gebruik van een zeer zuiver In2O3-SnO2-mengsel als bronmateriaal voor directe verdamping. Om een film met een hoge transmissie en lage weerstand te verkrijgen, is over het algemeen een hogere substraattemperatuur of een daaropvolgende gloeibehandeling van de film nodig. HR Fallah et al. gebruikten de elektronenbundelverdampingsmethode bij lage temperaturen om dunne ITO-films te deponeren en bestudeerden het effect van de depositiesnelheid, de gloeitemperatuur en andere procesparameters op de structuur, elektrische en optische eigenschappen van de film. Ze wezen erop dat het verlagen van de depositiesnelheid de transmissie kon verhogen en de soortelijke weerstand van de bij lage temperatuur gegroeide films kon verlagen. De transmissie van zichtbaar licht is meer dan 92% en de soortelijke weerstand is 7 x 10⁻⁴ Ωcm. Ze gloeiden de bij kamertemperatuur gegroeide ITO-films bij 350-550 °C en ontdekten dat hoe hoger de gloeitemperatuur, hoe beter de kristallijne eigenschappen van de ITO-films. De transmissie van zichtbaar licht van de films na gloeien bij 550 °C is 93% en de korrelgrootte is ongeveer 37 nm. De plasma-ondersteunde methode kan ook de substraattemperatuur tijdens de filmvorming verlagen, wat de belangrijkste factor is bij de vorming van de film, en de kristalliniteit is ook van het grootste belang. De plasma-ondersteunde methode kan ook de substraattemperatuur tijdens de filmvorming verlagen en de ITO-film die door depositie wordt verkregen, heeft goede prestaties. De soortelijke weerstand van de ITO-film bereid door S. Laux et al. is zeer laag, 5*10-”Ωcm, en de lichtabsorptie bij 550 nm is minder dan 5%, en de soortelijke weerstand van de film en de optische bandbreedte veranderen ook door de zuurstofdruk tijdens de depositie te wijzigen.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Geplaatst op: 23 maart 2024