Индиум цагаан тугалганы исэл (Индиум цагаан тугалганы исэл, ITO гэж нэрлэдэг) нь өргөн зурвасын зайтай, их хэмжээгээр хольцтой n төрлийн хагас дамжуулагч материал бөгөөд өндөр харагдах гэрлийн дамжуулалттай, бага эсэргүүцлийн шинж чанартай тул нарны зай, хавтгай самбарын дэлгэц, электрохром цонх, органик бус болон органик нимгэн хальсан электролюминесценц, лазер диод болон хэт ягаан туяаны мэдрэгч болон бусад фотоволтайк төхөөрөмж гэх мэтт өргөн хэрэглэгддэг. ITO хальс бэлтгэх олон арга байдаг бөгөөд үүнд импульсийн лазер тунадасжуулалт, цацалт, химийн уур тунадасжуулалт, шүрших дулааны задрал, золь-гель, ууршилт гэх мэт орно. Ууршилтын аргуудаас хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг нь электрон цацрагийн ууршилт юм.
ITO хальсыг бэлтгэх олон арга байдаг бөгөөд үүнд импульсийн лазер тунадасжуулалт, цацалт, химийн уур тунадасжуулалт, шүршигч пиролиз, золь-гель, ууршилт гэх мэт аргууд багтдаг бөгөөд хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг ууршилтын арга бол электрон цацрагийн ууршилт юм. ITO хальсыг ууршуулах бэлтгэл нь ихэвчлэн хоёр аргатай байдаг: нэг нь хүчилтөрөгчийн агаар мандалд урвалын ууршилтын хувьд өндөр цэвэршилттэй In, Sn хайлшийг эх үүсвэр болгон ашиглах; хоёр дахь нь шууд ууршилтын эх үүсвэр болгон өндөр цэвэршилттэй In2O3:, SnO2 хольцыг ашиглах явдал юм. Өндөр нэвтрүүлэлттэй, бага эсэргүүцэлтэй хальс хийхийн тулд ерөнхийдөө өндөр субстратын температур эсвэл хальсыг дараа нь халаах шаардлагатай байдаг. HR Fallah нар бага температурт электрон цацрагийн ууршилтын аргыг ашиглан ITO нимгэн хальсыг тунадасжуулж, тунадасжуулалтын хурд, халаах температур болон бусад процессын параметрүүд нь хальсны бүтэц, цахилгаан болон оптик шинж чанарт хэрхэн нөлөөлж байгааг судалсан. Тэд тунадасжуулалтын хурдыг бууруулах нь бага температурт ургуулсан хальсны нэвтрүүлэлтийг нэмэгдүүлж, эсэргүүцлийг бууруулж болзошгүйг онцолсон. Харагдах гэрлийн нэвтрүүлэх чадвар 92%-иас дээш, эсэргүүцэл нь 7X10-4Ωсм байна. Тэд өрөөний температурт 350~550℃-д ургуулсан ITO хальсыг шарж, шарах температур өндөр байх тусам ITO хальсны талст шинж чанар сайжирдаг болохыг тогтоожээ. 550℃-д шарсны дараа хальсны харагдах гэрлийн нэвтрүүлэх чадвар 93%, ширхэгийн хэмжээ нь ойролцоогоор 37нм байна. Плазмын тусламжтайгаар арга нь хальс үүсэх явцад субстратын температурыг бууруулж чаддаг бөгөөд энэ нь хальс үүсэх хамгийн чухал хүчин зүйл бөгөөд талст чанар нь бас хамгийн чухал юм. Плазмын тусламжтайгаар арга нь хальс үүсэх үед субстратын температурыг бууруулж чаддаг бөгөөд тунадаснаас гаргаж авсан ITO хальс нь сайн гүйцэтгэлтэй байдаг. С. Лаукс болон бусад хүмүүсийн бэлтгэсэн ITO хальсны эсэргүүцэл. маш бага, 5*10-”Ωсм, 550нм долгионы уртад гэрлийн шингээлт 5%-иас бага бөгөөд хальсны эсэргүүцэл болон оптик зурвасын өргөн нь тунадасжуулалтын явцад хүчилтөрөгчийн даралтыг өөрчилснөөр өөрчлөгддөг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 23