آئی ٹی او کوٹنگ کا تعارف

انڈیم ٹن آکسائیڈ (انڈیم ٹن آکسائیڈ، جسے آئی ٹی او کہا جاتا ہے) ایک وسیع بینڈ گیپ، بھاری ڈوپڈ این قسم کے سیمی کنڈکٹر مواد ہے، جس میں زیادہ دکھائی دینے والی روشنی کی ترسیل اور کم مزاحمتی خصوصیات ہیں، اور اس طرح بڑے پیمانے پر سولر سیل، فلیٹ پینل ڈسپلے، الیکٹرو کرومک ونڈوز، لیور فلیٹ یا لیموجن میں استعمال کیا جاتا ہے۔ ڈایڈس اور الٹرا وائلٹ ڈیٹیکٹر اور دیگر فوٹو وولٹک آلات وغیرہ۔ ITO فلموں کی تیاری کے بہت سے طریقے ہیں جن میں پلسڈ لیزر جمع کرنا، سپٹرنگ، کیمیائی بخارات جمع کرنا، سپرے تھرمل سڑنا، سول جیل، بخارات وغیرہ شامل ہیں۔ بخارات کے طریقہ کار میں سب سے زیادہ استعمال ہونے والا الیکٹرو ایواپوریشن ہے۔

آئی ٹی او فلم تیار کرنے کے بہت سے طریقے ہیں، جن میں پلسڈ لیزر ڈپازیشن، سپٹرنگ، کیمیائی بخارات جمع کرنا، سپرے پائرولیسس، سول جیل، بخارات وغیرہ شامل ہیں، جن میں سے سب سے زیادہ استعمال ہونے والا بخارات کا طریقہ الیکٹران بیم بخارات ہے۔ آئی ٹی او فلموں کی بخارات کی تیاری کے عام طور پر دو طریقے ہوتے ہیں: ایک ہے ہائی پیوریٹی ان، ایس این ایلائے کا استعمال ماخذ مواد کے طور پر، رد عمل کے بخارات کے لیے آکسیجن ماحول میں؛ دوسرا اعلی پاکیزگی In2O3:، SnO2 مرکب کا استعمال ہے جو براہ راست بخارات کے لیے ماخذ مواد کے طور پر ہے۔ اعلی ٹرانسمیٹینس اور کم مزاحمیت کے ساتھ فلم بنانے کے لیے، عام طور پر اعلی سبسٹریٹ درجہ حرارت کی ضرورت ہوتی ہے یا فلم کے بعد میں اینیلنگ کی ضرورت ہوتی ہے۔ HR Fallah et al. ITO پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لئے کم درجہ حرارت پر الیکٹران بیم کے بخارات کا طریقہ استعمال کیا، جمع کی شرح، اینیلنگ درجہ حرارت اور فلم کی ساخت، برقی اور نظری خصوصیات پر عمل کے دیگر پیرامیٹرز کے اثر کا مطالعہ کرنے کے لئے۔ انہوں نے نشاندہی کی کہ جمع کرنے کی شرح کو کم کرنے سے ٹرانسمیٹینس میں اضافہ ہوسکتا ہے اور کم درجہ حرارت میں اگنے والی فلموں کی مزاحمت کو کم کیا جاسکتا ہے۔ مرئی روشنی کی ترسیل 92% سے زیادہ ہے، اور مزاحمتی صلاحیت 7X10-4Ωcm ہے۔ انہوں نے کمرے کے درجہ حرارت پر 350~550℃ پر اگنے والی ITO فلموں کو اینیل کیا، اور پتہ چلا کہ اینیلنگ کا درجہ حرارت جتنا زیادہ ہوگا، ITO فلموں کی کرسٹل لائن کی خاصیت اتنی ہی بہتر ہوگی۔ 550℃ پر اینیلنگ کے بعد فلموں کی نظر آنے والی روشنی کی ترسیل 93% ہے، اور اناج کا سائز تقریباً 37nm ہے۔ پلازما کی مدد سے چلنے والا طریقہ فلم کی تشکیل کے دوران سبسٹریٹ کے درجہ حرارت کو بھی کم کر سکتا ہے، جو فلم کی تشکیل میں سب سے اہم عنصر ہے، اور کرسٹل پن بھی سب سے اہم ہے۔ پلازما کی مدد سے چلنے والا طریقہ فلم کی تشکیل کے دوران سبسٹریٹ کے درجہ حرارت کو بھی کم کر سکتا ہے، اور جمع سے حاصل کردہ آئی ٹی او فلم کی کارکردگی اچھی ہے۔ S. Laux et al کے ذریعہ تیار کردہ ITO فلم کی مزاحمتی صلاحیت۔ بہت کم ہے، 5*10-”Ωcm، اور 550nm پر روشنی کا جذب 5% سے کم ہے، اور جمع کے دوران آکسیجن کے دباؤ کو تبدیل کرکے فلم کی مزاحمتی صلاحیت اور آپٹیکل بینڈوتھ کو بھی تبدیل کیا جاتا ہے۔

-یہ مضمون جاری کیا گیا ہے۔ویکیوم کوٹنگ مشین بنانے والاگوانگ ڈونگ زینہوا