Индий қалайы оксиді (Индий қалайы оксиді, ITO деп аталады) - кең жолақты, жоғары легирленген n-типті жартылай өткізгіш материал, көрінетін жарық өткізгіштігі жоғары және кедергісі төмен, сондықтан күн батареяларында, жалпақ панельді дисплейлерде, электрохромды терезелерде, бейорганикалық және органикалық жұқа пленкалы электролюминесценцияда, лазерлік диодтарда және ультракүлгін детекторларда және басқа да фотоэлектрлік құрылғыларда және т.б. кеңінен қолданылады. ITO пленкаларын дайындаудың көптеген әдістері бар, соның ішінде импульсті лазерлік тұндыру, тозаңдату, химиялық бу тұндыру, шашыратқыш термиялық ыдырау, золь-гель, булану және т.б. Булану әдістерінің ішінде ең көп қолданылатыны - электронды сәулелік булану.
ITO пленкасын дайындаудың көптеген жолдары бар, соның ішінде импульсті лазерлік тұндыру, тозаңдату, химиялық бу тұндыру, бүріккіш пиролиз, золь-гель, булану және т.б., олардың ішінде ең көп қолданылатын булану әдісі - электронды сәулелік булану. ITO пленкаларын булану арқылы дайындаудың әдетте екі жолы бар: біріншісі - реакцияны булау үшін оттегі атмосферасында бастапқы материал ретінде жоғары тазалықтағы In, Sn қорытпасын пайдалану; екіншісі - тікелей булану үшін бастапқы материал ретінде жоғары тазалықтағы In2O3:, SnO2 қоспасын пайдалану. Жоғары өткізгіштігі және төмен кедергісі бар пленканы жасау үшін әдетте жоғары субстрат температурасы немесе пленканы кейіннен күйдіру қажеттілігі қажет. Х.Р. Фаллах және т.б. төмен температурада электронды сәулелік булану әдісін ITO жұқа пленкаларын тұндыру үшін қолданды, тұндыру жылдамдығының, күйдіру температурасының және басқа да процесс параметрлерінің пленканың құрылымына, электрлік және оптикалық қасиеттеріне әсерін зерттеді. Олар тұндыру жылдамдығын төмендету өткізгіштігін арттырып, төмен температурада өсірілген пленкалардың кедергісін төмендетуі мүмкін екенін атап өтті. Көрінетін жарықтың өткізгіштігі 92%-дан асады, ал кедергісі 7X10-4Ωсм. Олар бөлме температурасында 350~550℃ температурада өсірілген ITO қабықшаларын күйдіріп, күйдіру температурасы неғұрлым жоғары болса, ITO қабықшаларының кристалдық қасиеті соғұрлым жақсы болатынын анықтады. 550℃ температурада күйдіргеннен кейін қабықшалардың көрінетін жарық өткізгіштігі 93%, ал түйіршік өлшемі шамамен 37 нм. Плазма көмегімен әдіс қабықша түзілу кезінде субстрат температурасын төмендетуі мүмкін, бұл қабықшаның түзілуіндегі ең маңызды фактор болып табылады, ал кристалдылық та ең маңыздысы. Плазма көмегімен әдіс қабықша түзілу кезінде субстрат температурасын төмендетуі мүмкін, ал тұндырудан алынған ITO қабықшасы жақсы өнімділікке ие. С. Лау және т.б. дайындаған ITO қабықшасының кедергісі. өте төмен, 5*10-”Ωсм, ал 550 нм толқын ұзындығында жарықтың жұтылуы 5%-дан аз, ал пленканың кедергісі мен оптикалық өткізу қабілеті де тұндыру кезіндегі оттегі қысымын өзгерту арқылы өзгереді.
– Бұл мақала жарияланғанвакуумдық жабын машинасын өндірушіГуандун Чжэнхуа
Жарияланған уақыты: 2024 жылғы 23 наурыз