ئىندىي تۆمۈر ئوكسىدى (ئىندىي تۆمۈر ئوكسىدى، ITO دەپ ئاتىلىدۇ) كەڭ بەلۋاغ بوشلۇقى، ئېغىر دەرىجىدە قوشۇلغان n تىپلىق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ماتېرىيال بولۇپ، يۇقىرى كۆرۈنىدىغان نۇر ئۆتكۈزۈشچانلىقى ۋە تۆۋەن قارشىلىق خۇسۇسىيىتىگە ئىگە، شۇڭا قۇياش باتارېيەسى، ياپىلاق تاختا ئېكران، ئېلېكتروخروم دېرىزىلەر، ئانئورگانىك ۋە ئورگانىك نېپىز پەردە ئېلېكتروليۇمىنىسسېنسىيە، لازېر دىئود ۋە ئۇلترابىنەفشە نۇر دېتېكتورلىرى ۋە باشقا فوتوۋولتائىك ئۈسكۈنىلەر قاتارلىقلاردا كەڭ قوللىنىلىدۇ. ITO پەردىلىرىنى تەييارلاشنىڭ نۇرغۇن ئۇسۇللىرى بار، بۇنىڭ ئىچىدە ئىمپۇلسلىق لازېر چۆكمىسى، پۈركۈش، خىمىيىلىك پار چۆكمىسى، پۈركۈش ئىسسىقلىق پارچىلاش، سول گېل، پارغا ئايلاندۇرۇش قاتارلىقلار بار. پارغا ئايلاندۇرۇش ئۇسۇلى ئىچىدە، ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغانى ئېلېكترون نۇرى پارغا ئايلاندۇرۇش.
ITO پىلاستىنكىسىنى تەييارلاشنىڭ نۇرغۇن ئۇسۇللىرى بار، بۇنىڭ ئىچىدە ئىمپۇلسلىق لازېرلىق چۆكمە، پۈركۈش، خىمىيىلىك پارغا چۆكمە، پۈركۈش پىرولىز، سول-گېل، پارغا ئايلاندۇرۇش قاتارلىقلار بار، بۇلارنىڭ ئىچىدە ئەڭ كۆپ ئىشلىتىلىدىغان پارغا ئايلاندۇرۇش ئۇسۇلى ئېلېكترون نۇرى پارغا ئايلاندۇرۇش. ITO پىلاستىنكىلىرىنى پارغا ئايلاندۇرۇش تەييارلاش ئادەتتە ئىككى خىل ئۇسۇلغا ئىگە: بىرى، ئوكسىگېن ئاتموسفېراسىدا يۇقىرى ساپلىقتىكى In, Sn قېتىشمىسىنى مەنبە ماتېرىيالى سۈپىتىدە ئىشلىتىپ، رېئاكسىيە پارغا ئايلاندۇرۇش؛ ئىككىنچىسى، بىۋاسىتە پارغا ئايلاندۇرۇش ئۈچۈن يۇقىرى ساپلىقتىكى In2O3:, SnO2 ئارىلاشمىسىنى مەنبە ماتېرىيالى سۈپىتىدە ئىشلىتىش. يۇقىرى ئۆتكۈزۈشچانلىق ۋە تۆۋەن قارشىلىق كۈچىگە ئىگە پىلاستىنكا ياساش ئۈچۈن، ئادەتتە يۇقىرى ئاساسىي تېمپېراتۇرا ياكى پىلاستىنكىنى كېيىن قىزىتىش كېرەك. HR Fallah قاتارلىقلار تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئېلېكترون نۇرى پارغا ئايلاندۇرۇش ئۇسۇلىنى قوللىنىپ، ITO نېپىز پىلاستىنكىلىرىنى چۆكمە قىلىپ، چۆكمە سۈرئىتى، قىزىتىش تېمپېراتۇرىسى ۋە باشقا جەريان پارامېتىرلىرىنىڭ پىلاستىنكىنىڭ قۇرۇلمىسى، ئېلېكتر ۋە ئوپتىكىلىق خۇسۇسىيەتلىرىگە بولغان تەسىرىنى تەتقىق قىلدى. ئۇلار چۆكمە سۈرئىتىنى تۆۋەنلىتىشنىڭ ئۆتكۈزۈشچانلىقنى ئاشۇرۇپ، تۆۋەن تېمپېراتۇرىدا ئۆستۈرۈلگەن پىلاستىنكىلارنىڭ قارشىلىقىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىنلىكىنى كۆرسەتتى. كۆرۈنگەن نۇرنىڭ ئۆتكۈزۈشچانلىقى %92 تىن يۇقىرى، قارشىلىق كۈچى 7X10-4Ωcm. ئۇلار ئۆي تېمپېراتۇرىسىدا 350 ~ 550℃ دا ئۆستۈرۈلگەن ITO پىلاستىنكىلىرىنى كۆيدۈرۈپ، كۆيدۈرۈش تېمپېراتۇرىسى قانچە يۇقىرى بولسا، ITO پىلاستىنكىلىرىنىڭ كىرىستال خۇسۇسىيىتى شۇنچە ياخشى بولىدىغانلىقىنى بايقىدى. 550℃ دا كۆيدۈرۈلگەندىن كېيىنكى پىلاستىنكىلارنىڭ كۆرۈنگەن نۇر ئۆتكۈزۈشچانلىقى %93، دانچە چوڭلۇقى تەخمىنەن 37nm. پلازما ياردەملىك ئۇسۇل پىلاستىنكا شەكىللىنىش جەريانىدا ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن، بۇ پىلاستىنكىنىڭ شەكىللىنىشىدىكى ئەڭ مۇھىم ئامىل، شۇنداقلا كىرىستاللىق دەرىجىسىمۇ ئەڭ مۇھىم. پلازما ياردەملىك ئۇسۇل پىلاستىنكا شەكىللىنىش جەريانىدا ئاساسىي قاتلام تېمپېراتۇرىسىنى تۆۋەنلىتىشى مۇمكىن، ھەمدە چۆكمىدىن ئېرىشكەن ITO پىلاستىنكىسىنىڭ ئىقتىدارى ياخشى. S. Laux قاتارلىقلار تەييارلىغان ITO پىلاستىنكىسىنىڭ قارشىلىق كۈچى... ناھايىتى تۆۋەن، 5*10-”Ωcm، 550nm دىكى نۇرنىڭ سۈمۈرۈلۈشى %5 تىن تۆۋەن، پىلاستىنكىنىڭ قارشىلىقى ۋە ئوپتىكىلىق بەلباغ كەڭلىكىمۇ چۆكمە جەريانىدا ئوكسىگېن بېسىمىنى ئۆزگەرتىش ئارقىلىق ئۆزگىرىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 3-ئاينىڭ 23-كۈنى