የአይቲኦ ሽፋን መግቢያ

ኢንዲየም ቲን ኦክሳይድ (ኢንዲየም ቲን ኦክሳይድ፣ ITO ተብሎ የሚጠራው) ሰፊ የባንድ ክፍተት፣ በከፍተኛ ሁኔታ የተለጠፈ n-አይነት ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁሶች ሲሆን ከፍተኛ የሚታይ የብርሃን ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ የመቋቋም ባህሪያት ያሉት ሲሆን በዚህም ምክንያት በፀሐይ ሴሎች፣ ጠፍጣፋ ፓነል ማሳያዎች፣ ኤሌክትሮክሮሚክ መስኮቶች፣ ኢኦርጋኒክ እና ኦርጋኒክ ቀጭን-ፊልም ኤሌክትሮሉሚኔሴንስ፣ የሌዘር ዳዮዶች እና የአልትራቫዮሌት መመርመሪያዎች እና ሌሎች የፎቶቮልታይክ መሳሪያዎች ወዘተ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል። የ ITO ፊልሞችን ለማዘጋጀት ብዙ ዘዴዎች አሉ፣ እነሱም የተወገደ የሌዘር ክምችት፣ ስፕተርሪንግ፣ የኬሚካል ትነት ክምችት፣ የሚረጭ የሙቀት መበስበስ፣ ሶል-ጄል፣ ትነት፣ ወዘተ. ናቸው። ከትነት ዘዴው መካከል በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ነው።

የአይቲኦ ፊልም ለማዘጋጀት ብዙ መንገዶች አሉ፣ እነሱም የ pulsed laser deposition፣ sputtering፣ የኬሚካል ትነት deposition፣ የሚረጭ ፒሮሊሲስ፣ ሶል-ጄል፣ ትነት እና የመሳሰሉትን ጨምሮ፣ ከእነዚህም ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ የሚውለው የትነት ዘዴ የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ነው። የአይቲኦ ፊልሞች የትነት ዝግጅት ብዙውን ጊዜ ሁለት መንገዶች አሉት፡ አንደኛው ከፍተኛ ንፅህናን ኢን፣ ኤስን ቅይጥ እንደ ምንጭ ቁሳቁስ፣ ለምላሽ ትነት በኦክስጅን ከባቢ አየር ውስጥ መጠቀም ነው፤ ሁለተኛው ደግሞ ከፍተኛ ንፅህናን ኢን2ኦ3፡፣ ኤስንኦ2 ድብልቅን እንደ ምንጭ ቁሳቁስ መጠቀም ነው። ፊልሙን ከፍተኛ ማስተላለፊያ እና ዝቅተኛ ተቃውሞ ያለው ለማድረግ በአጠቃላይ ከፍተኛ የንጣፍ ሙቀት ወይም የፊልሙን ቀጣይ ማቃጠል ያስፈልጋል። ኤችአር ፋላህ እና ሌሎችም የአይቲኦ ቀጭን ፊልሞችን ለማስቀመጥ፣ የማስቀመጫ ፍጥነት፣ የማቅለጫ ሙቀት እና ሌሎች የሂደት መለኪያዎች በፊልሙ አወቃቀር፣ በኤሌክትሪክ እና በኦፕቲካል ባህሪያት ላይ ያላቸውን ተጽእኖ ለማጥናት በዝቅተኛ የሙቀት መጠን የኤሌክትሮን ጨረር ትነት ዘዴን ተጠቅመዋል። የማስቀመጫ ፍጥነትን መቀነስ የመተላለፊያውን መጠን ሊጨምር እና ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያላቸው ፊልሞች የመቋቋም አቅምን ሊቀንስ እንደሚችል ጠቁመዋል። የሚታየው ብርሃን ማስተላለፊያ ከ92% በላይ ሲሆን የመቋቋም አቅሙ 7X10-4Ωcm ነው። በክፍል ሙቀት በ350~550℃ የሚበቅሉትን የITO ፊልሞች አሻሽለዋል፣ እና የማቀዝቀዣ ሙቀት ከፍ ባለ መጠን የITO ፊልሞች ክሪስታላይዜሽን ባህሪ የተሻለ መሆኑን አረጋግጠዋል። በ550℃ ከተሸፈኑ በኋላ የሚታዩት የብርሃን ማስተላለፊያዎች 93% ሲሆኑ የእህል መጠኑ ደግሞ 37nm አካባቢ ነው። በፕላዝማ የታገዘ ዘዴ በፊልም ምስረታ ወቅት የንጣፍ ሙቀትን ሊቀንስ ይችላል፣ ይህም በፊልሙ ምስረታ ውስጥ በጣም አስፈላጊው ነገር ነው፣ እና ክሪስታሊኒዝም በጣም አስፈላጊው ነው። በፕላዝማ የታገዘ ዘዴ በፊልም ምስረታ ወቅት የንጣፍ ሙቀትን ሊቀንስ ይችላል፣ እና ከማጠራቀሚያው የተገኘው የITO ፊልም ጥሩ አፈጻጸም አለው። በኤስ. ላውክስ እና ሌሎች የተዘጋጀው የITO ፊልም የመቋቋም አቅም። በጣም ዝቅተኛ፣ 5*10-”Ωሴሜ ሲሆን በ550nm የብርሃን መምጠጥ ከ5% ያነሰ ሲሆን የፊልሙ የመቋቋም አቅም እና የኦፕቲካል ባንድዊድዝ ደግሞ በሚከማችበት ጊዜ የኦክስጅን ግፊትን በመቀየር ይቀየራሉ።

- ይህ ጽሑፍ የወጣው በየቫክዩም ሽፋን ማሽን አምራችጓንግዶንግ ዠንዋ