Indiý galaýy oksidi (Indiý galaýy oksidi, ITO diýlip atlandyrylýar) giň zolakly, ýokary derejede lehimlenen n-tipli ýarymgeçiriji material bolup, ýokary görünýän ýagtylyk geçirijiligi we pes garşylyk häsiýetlerine eýedir we şonuň üçin gün batareýalarynda, tekiz panelli displeýlerde, elektrohrom penjirelerde, organiki däl we organiki inçe plýonkaly elektrolýuminesensiýada, lazer diodlarynda we ultramelewşe detektorlarynda we beýleki fotowoltaik enjamlarda we ş.m. giňden ulanylýar. ITO plýonkalaryny taýýarlamagyň köp usullary bar, şol sanda impulsly lazer çökündisi, püskürtme, himiki bug çökündisi, spreý termiki parçalanma, sol-gel, bugartma we ş.m. Bugartma usullarynyň arasynda iň köp ulanylýany elektron şöhlesiniň bugarmasydyr.
ITO plýonkasyny taýýarlamagyň köp usullary bar, şol sanda impulsly lazer çökündisi, püskürtme, himiki bug çökündisi, püskürtme pirolizi, sol-gel, bugartma we ş.m., olaryň iň köp ulanylýan bugartma usuly elektron şöhlesi bugartmadyr. ITO plýonkalaryny bugartma bilen taýýarlamagyň adatça iki usuly bar: biri reaksiýa bugartma üçin kislorod atmosferasynda çeşme material hökmünde ýokary arassa In, Sn garyndysyny ulanmak; ikinjisi bolsa göni bugartma üçin çeşme material hökmünde ýokary arassa In2O3:, SnO2 garyndysyny ulanmakdyr. Ýokary geçirijilikli we pes garşylykly plýonkany ýasamak üçin, adatça, ýokary substrat temperaturasy ýa-da plýonkany soňra ýumşatmak zerurlygy talap edilýär. HR Fallah we beýlekiler ITO inçe plýonkalaryny goýmak, çökündi tizliginiň, ýumşatmak temperaturasynyň we beýleki proses parametrleriniň plýonkanyň gurluşyna, elektrik we optiki häsiýetlerine täsirini öwrenmek üçin elektron şöhlesi bugartma usulyny pes temperaturada ulandylar. Olar çökündi tizligini peseltmegiň geçirijiligi ýokarlandyryp we pes temperaturada ösdürilen plýonkalaryň garşylygyny peseldip biljekdigini bellediler. Görünýän ýagtylygyň geçirijiligi 92% -den gowrak, garşylyk 7X10-4Ωcm. Olar ITO plýonkalaryny otagyň temperaturasynda 350 ~ 550℃ temperaturada ýumşadylar we ýumşatma temperaturasy näçe ýokary bolsa, ITO plýonkalarynyň kristallik häsiýetiniň şonça-da gowy bolýandygyny anykladylar. 550℃ temperaturada ýumşadylandan soň plýonkalaryň görünýän ýagtylyk geçirijiligi 93%, dänejikleriniň ululygy bolsa takmynan 37nm. Plazma kömegi bilen ulanylýan usul plýonka emele gelende substratyň temperaturasyny hem peseldip biler, bu bolsa plýonka emele gelmeginde iň möhüm faktordyr we kristallik hem iň möhümidir. Plazma kömegi bilen ulanylýan usul plýonka emele gelende substratyň temperaturasyny hem peseldip biler we çökündiden alnan ITO plýonkasy gowy netije berýär. S. Laux we beýlekiler tarapyndan taýýarlanan ITO plýonkasynyň garşylygy... örän pes, 5*10-”Ωcm we 550nm-de ýagtylygyň siňdirilişi 5% -den az, şeýle hem plýonkanyň garşylygy we optiki geçirijilik ukyby çökündi wagtynda kislorod basyşyny üýtgetmek arkaly üýtgeýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 23-nji marty