អុកស៊ីដសំណប៉ាហាំងអ៊ីនឌីញ៉ូម (អុកស៊ីដសំណប៉ាហាំងអ៊ីនឌីញ៉ូម ហៅថា ITO) គឺជាសម្ភារៈ semiconductor ប្រភេទ n ដែលមានចន្លោះធំទូលាយ មានផ្ទុកសារធាតុដូបច្រើន មានលក្ខណៈបញ្ជូនពន្លឺដែលអាចមើលឃើញខ្ពស់ និងលក្ខណៈធន់ទ្រាំទាប ដូច្នេះហើយបានជាត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ អេក្រង់បន្ទះសំប៉ែត បង្អួចអេឡិចត្រូក្រូម អេឡិចត្រូលូមីណេសស្យុងខ្សែភាពយន្តស្តើងអសរីរាង្គ និងសរីរាង្គ ឌីយ៉ូដឡាស៊ែរ និងឧបករណ៍ចាប់កាំរស្មីអ៊ុលត្រាវីយូឡេ និងឧបករណ៍ photovoltaic ផ្សេងទៀត។ល។ មានវិធីសាស្រ្តជាច្រើននៃការរៀបចំខ្សែភាពយន្ត ITO រួមទាំងការដាក់ស្រទាប់ឡាស៊ែរជីពចរ ការបាញ់ទឹក ការដាក់ស្រទាប់ចំហាយគីមី ការបំបែកដោយកម្ដៅបាញ់ សូលជែល ការហួតជាដើម។ ក្នុងចំណោមវិធីសាស្រ្តហួត វិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅបំផុតគឺការហួតធ្នឹមអេឡិចត្រុង។
មានវិធីជាច្រើនដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្ត ITO រួមទាំងការដាក់ស្រទាប់ឡាស៊ែរជីពចរ ការបាញ់ទឹក ការដាក់ស្រទាប់ចំហាយគីមី ការបាញ់ថ្នាំដោយចំហាយទឹក សូលជែល ការហួត និងផ្សេងៗទៀត ដែលវិធីសាស្ត្រហួតដែលប្រើជាទូទៅបំផុតគឺការហួតដោយធ្នឹមអេឡិចត្រុង។ ការរៀបចំការហួតខ្សែភាពយន្ត ITO ជាធម្មតាមានវិធីពីរយ៉ាង៖ មួយគឺការប្រើប្រាស់លោហធាតុ In, Sn ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ជាវត្ថុធាតុដើម នៅក្នុងបរិយាកាសអុកស៊ីសែនសម្រាប់ការហួតប្រតិកម្ម; ទីពីរគឺការប្រើប្រាស់ល្បាយ In2O3:, SnO2 ដ៏បរិសុទ្ធខ្ពស់ជាវត្ថុធាតុដើមសម្រាប់ការហួតដោយផ្ទាល់។ ដើម្បីធ្វើឱ្យខ្សែភាពយន្តមានការបញ្ជូនខ្ពស់ និងមានភាពធន់ទាប ជាទូទៅត្រូវការសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមខ្ពស់ ឬតម្រូវការសម្រាប់ការដុតខ្សែភាពយន្តជាបន្តបន្ទាប់។ HR Fallah et al. បានប្រើវិធីសាស្ត្រហួតដោយធ្នឹមអេឡិចត្រុងនៅសីតុណ្ហភាពទាបដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ITO ដើម្បីសិក្សាពីឥទ្ធិពលនៃអត្រាដាក់ស្រទាប់ សីតុណ្ហភាពដុត និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការផ្សេងទៀតលើរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្ត លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងអុបទិក។ ពួកគេបានចង្អុលបង្ហាញថា ការបន្ថយអត្រាដាក់ស្រទាប់អាចបង្កើនការបញ្ជូន និងបន្ថយភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្តដែលដាំដុះនៅសីតុណ្ហភាពទាប។ ការបញ្ជូនពន្លឺដែលអាចមើលឃើញគឺច្រើនជាង 92% ហើយភាពធន់គឺ 7X10-4Ωcm។ ពួកគេបានដុតខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលដាំដុះនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់នៅសីតុណ្ហភាព 350~550℃ ហើយបានរកឃើញថាសីតុណ្ហភាពដុតកាន់តែខ្ពស់ លក្ខណៈសម្បត្តិគ្រីស្តាល់នៃខ្សែភាពយន្ត ITO កាន់តែល្អ។ ការបញ្ជូនពន្លឺដែលអាចមើលឃើញនៃខ្សែភាពយន្តបន្ទាប់ពីការដុតនៅសីតុណ្ហភាព 550℃ គឺ 93% ហើយទំហំគ្រាប់គឺប្រហែល 37nm។ វិធីសាស្ត្រជំនួយប្លាស្មាក៏អាចកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងអំឡុងពេលបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ដែលជាកត្តាសំខាន់បំផុតក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ហើយគ្រីស្តាល់ក៏សំខាន់បំផុតផងដែរ។ វិធីសាស្ត្រជំនួយប្លាស្មាក៏អាចកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងអំឡុងពេលបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ហើយខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលទទួលបានពីការដាក់លោហៈមានដំណើរការល្អ។ ភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលរៀបចំដោយ S. Laux et al. គឺទាបណាស់ 5*10-”Ωcm ហើយការស្រូបយកពន្លឺនៅ 550nm គឺតិចជាង 5% ហើយភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្ត និងកម្រិតបញ្ជូនអុបទិកក៏ត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរដោយការផ្លាស់ប្តូរសម្ពាធអុកស៊ីសែនក្នុងអំឡុងពេលដាក់។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនថ្នាំកូតបូមធូលីក្វាងទុង ហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤