Ifihan Ito Aṣọ

Indium tin oxide (Indium Tin Oxide, tí a mọ̀ sí ITO) jẹ́ àlàfo ìpele, àwọn ohun èlò semiconductor oní-n-type tí a fi ọwọ́ mú gidigidi, pẹ̀lú ìtànṣán ìmọ́lẹ̀ tí ó ga tí a lè rí àti àwọn ànímọ́ ìdènà díẹ̀, èyí sì mú kí a lò ó ní gbòòrò nínú àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn, àwọn ìfihàn pánẹ́lì aláwọ̀ ilẹ̀, àwọn fèrèsé electrochromic, inorganic àti organic thin-film electroluminescence, laser diode àti ultraviolet detectors àti àwọn ẹ̀rọ photovoltaic mìíràn, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà ni a fi ń ṣe àwọn fíìmù ITO, títí bí pulsed laser deposition, sputtering, chemical vapor decomposition, spray thermal decomposition, sol-gel, evaporation, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. Láàrín ọ̀nà evaporation, èyí tí a sábà máa ń lò jùlọ ni electron beam evaporation.

Ọ̀pọ̀lọpọ̀ ọ̀nà ló wà láti fi ṣe fíìmù ITO, títí bí pulsed laser deposition, sputtering, kemika vapor deposition, spray pyrolysis, sol-gel, evaporation àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ, èyí tí ọ̀nà evaporation tí a sábà máa ń lò jùlọ ni electron beam evaporation. Ìpèsè evaporation ti àwọn fíìmù ITO sábà máa ń ní ọ̀nà méjì: ọ̀kan ni lílo high-cleity In, Sn alloy gẹ́gẹ́ bí ohun èlò orísun, nínú afẹ́fẹ́ atẹ́gùn fún evaporation reaction; èkejì ni lílo high-cleity In2O3:, SnO2 adalu gẹ́gẹ́ bí ohun èlò orísun fún evaporation tààrà. Láti lè ṣe fíìmù pẹ̀lú transmittance gíga àti low resistivity, ní gbogbogbòò nílò iwọn otutu substrate gíga tàbí àìní fún fíìmù náà lẹ́yìn náà. HR Fallah àti àwọn ẹlòmíràn lo ọ̀nà evaporation electron beam ní ìwọ̀n otútù kékeré láti fi àwọn fíìmù tinrin ITO sílẹ̀, láti kẹ́kọ̀ọ́ ipa ti rate deposition, annealing temperature àti àwọn pàrámítà ilana mìíràn lórí ìṣètò fíìmù náà, àwọn ohun ìní mànàmáná àti optical. Wọ́n tọ́ka sí i pé dídín rate deposition kù lè mú transmittance pọ̀ sí i kí ó sì dín resistance àwọn fíìmù tí wọ́n dàgbà ní ìwọ̀n otútù kékeré kù. Ìgbéjáde ìmọ́lẹ̀ tí a lè rí ju 92% lọ, ìdènà rẹ̀ sì jẹ́ 7X10-4Ωcm. Wọ́n ṣe àwọn fíìmù ITO tí a gbìn ní iwọ̀n otútù yàrá ní 350~550℃, wọ́n sì rí i pé bí iwọ̀n otútù annealing bá ṣe pọ̀ tó, bẹ́ẹ̀ náà ni ohun ìní kristali ti àwọn fíìmù ITO ṣe dára tó. Ìgbéjáde ìmọ́lẹ̀ tí a lè rí lẹ́yìn ìdènà ní 550℃ jẹ́ 93%, àti ìwọ̀n ọkà jẹ́ nǹkan bí 37nm. Ọ̀nà tí a lè rí nípasẹ̀ plasma tún lè dín iwọ̀n otútù substrate kù nígbà ìṣẹ̀dá fíìmù, èyí tí ó jẹ́ kókó pàtàkì jùlọ nínú ìṣẹ̀dá fíìmù náà, àti pé crystallinity náà tún ṣe pàtàkì jùlọ. Ọ̀nà tí a lè rí nípasẹ̀ plasma tún lè dín iwọ̀n otútù substrate kù nígbà ìṣẹ̀dá fíìmù, àti pé fíìmù ITO tí a rí láti inú ìdúró náà ní iṣẹ́ rere. ìdènà fíìmù ITO tí S. Laux àti àwọn ẹlòmíràn pèsè. Ó kéré gan-an, 5*10-”Ωcm, àti pé gbígbà ìmọ́lẹ̀ ní 550nm kéré sí 5%, àti pé a tún ń yí agbára ìdènà fíìmù náà àti ìpele optical padà nípa yíyí ìfúnpá atẹ́gùn padà nígbà tí a bá ń gbé e kalẹ̀.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua