आईटीओ कोटिंग का परिचय

इंडियम टिन ऑक्साइड (ITO) एक उच्च बैंड गैप वाला, अत्यधिक डोप किया हुआ n-प्रकार का अर्धचालक पदार्थ है, जिसमें उच्च दृश्य प्रकाश संचरण और कम प्रतिरोधकता की विशेषताएं होती हैं। इसलिए इसका व्यापक रूप से सौर सेल, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, इलेक्ट्रोक्रोमिक विंडो, अकार्बनिक और कार्बनिक पतली-फिल्म इलेक्ट्रोल्यूमिनेसेंस, लेजर डायोड, पराबैंगनी डिटेक्टर और अन्य फोटोवोल्टिक उपकरणों आदि में उपयोग किया जाता है। ITO फिल्मों को तैयार करने की कई विधियाँ हैं, जिनमें पल्स लेजर डिपोजिशन, स्पटरिंग, केमिकल वेपर डिपोजिशन, स्प्रे थर्मल डीकंपोजिशन, सोल-जेल, वाष्पीकरण आदि शामिल हैं। वाष्पीकरण विधि में, सबसे अधिक उपयोग की जाने वाली विधि इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण है।

आईटीओ फिल्म तैयार करने के कई तरीके हैं, जिनमें पल्स लेजर डिपोजिशन, स्पटरिंग, केमिकल वेपर डिपोजिशन, स्प्रे पायरोलिसिस, सोल-जेल, वाष्पीकरण आदि शामिल हैं। इनमें से सबसे अधिक इस्तेमाल की जाने वाली वाष्पीकरण विधि इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण है। आईटीओ फिल्मों के वाष्पीकरण निर्माण के आमतौर पर दो तरीके होते हैं: पहला, ऑक्सीजन वातावरण में उच्च शुद्धता वाले In, Sn मिश्र धातु को स्रोत सामग्री के रूप में उपयोग करके वाष्पीकरण करना; दूसरा, उच्च शुद्धता वाले In2O3, SnO2 मिश्रण को स्रोत सामग्री के रूप में उपयोग करके सीधे वाष्पीकरण करना। उच्च पारगम्यता और कम प्रतिरोधकता वाली फिल्म बनाने के लिए, आमतौर पर उच्च सब्सट्रेट तापमान या फिल्म के बाद के एनीलिंग की आवश्यकता होती है। एचआर फल्लाह एट अल. ने आईटीओ पतली फिल्मों को जमा करने के लिए कम तापमान पर इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण विधि का उपयोग किया, और फिल्म की संरचना, विद्युत और प्रकाशीय गुणों पर जमाव दर, एनीलिंग तापमान और अन्य प्रक्रिया मापदंडों के प्रभाव का अध्ययन किया। उन्होंने बताया कि निक्षेपण दर को कम करने से कम तापमान पर विकसित फिल्मों की पारगम्यता बढ़ सकती है और प्रतिरोधकता घट सकती है। दृश्य प्रकाश की पारगम्यता 92% से अधिक है, और प्रतिरोधकता 7X10⁻⁴Ωcm है। उन्होंने कमरे के तापमान पर विकसित ITO फिल्मों को 350~550℃ पर एनिल किया, और पाया कि एनिलिंग तापमान जितना अधिक होता है, ITO फिल्मों का क्रिस्टलीय गुण उतना ही बेहतर होता है। 550℃ पर एनिलिंग के बाद फिल्मों की दृश्य प्रकाश पारगम्यता 93% है, और कण का आकार लगभग 37nm है। प्लाज्मा-सहायता प्राप्त विधि फिल्म निर्माण के दौरान सब्सट्रेट तापमान को भी कम कर सकती है, जो फिल्म निर्माण में सबसे महत्वपूर्ण कारक है, और क्रिस्टलीयता भी सबसे महत्वपूर्ण है। प्लाज्मा-सहायता प्राप्त विधि फिल्म निर्माण के दौरान सब्सट्रेट तापमान को भी कम कर सकती है, और निक्षेपण से प्राप्त ITO फिल्म का प्रदर्शन अच्छा है। एस. लॉक्स एट अल द्वारा तैयार की गई ITO फिल्म की प्रतिरोधकता... यह बहुत कम है, 5*10-"Ωcm, और 550nm पर प्रकाश का अवशोषण 5% से कम है, और फिल्म की प्रतिरोधकता और ऑप्टिकल बैंडविड्थ भी जमाव के दौरान ऑक्सीजन के दबाव को बदलने से बदल जाती है।

–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ