Оксиди қалъагии индий (Индий Тин Оксид, ки бо номи ITO маъруф аст) як фосилаи васеи банд аст, ки маводи нимноқилии навъи n-ро бо допингҳои зиёд пӯшонидашуда дорад, ки гузариши баланди нури намоён ва хусусиятҳои муқовимати паст дорад ва аз ин рӯ, дар батареяҳои офтобӣ, дисплейҳои панелҳои ҳамвор, тирезаҳои электрохромӣ, электролюминесценсияи плёнкаи тунуки ғайриорганикӣ ва органикӣ, диодҳои лазерӣ ва детекторҳои ултрабунафш ва дигар дастгоҳҳои фотоэлектрикӣ ва ғайра васеъ истифода мешаванд. Усулҳои зиёди тайёр кардани плёнкаҳои ITO мавҷуданд, аз ҷумла ҷойгиркунии лазерии импулсӣ, пошидан, ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ, таҷзияи гармии пошидан, золь-гел, бухоршавӣ ва ғайра. Дар байни усули бухоршавӣ, маъмултаринаш бухоршавии нури электронӣ мебошад.
Роҳҳои зиёде барои тайёр кардани плёнкаи ITO мавҷуданд, аз ҷумла ҷойгиркунии лазерии импулсӣ, пошидан, ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ, пиролизи пошиданӣ, золь-гел, бухоршавӣ ва ғайра, ки аз онҳо усули маъмултарини бухоршавӣ бухоршавии шуоъи электронӣ мебошад. Омодасозии бухоршавии плёнкаҳои ITO одатан ду роҳ дорад: яке истифодаи хӯлаи In, Sn-и тозаи баланд ҳамчун маводи манбаъ, дар атмосфераи оксиген барои бухоршавии реаксия; дуюм истифодаи омехтаи In2O3:, SnO2-и тозаи баланд ҳамчун маводи манбаъ барои бухоршавии мустақим. Барои сохтани плёнка бо гузариши баланд ва муқовимати паст, одатан ҳарорати баландтари субстрат ё зарурати гармкунии минбаъдаи плёнка лозим аст. HR Fallah ва ҳамкорон усули бухоршавии шуоъи электрониро дар ҳарорати паст барои ҷойгиркунии плёнкаҳои тунуки ITO истифода бурданд, то таъсири суръати ҷойгиршавӣ, ҳарорати гармкунӣ ва дигар параметрҳои равандро ба сохтори плёнка, хосиятҳои электрикӣ ва оптикӣ омӯзанд. Онҳо қайд карданд, ки паст кардани суръати ҷойгиршавӣ метавонад гузаришро зиёд кунад ва муқовимати плёнкаҳои парваришёфтаи ҳарорати пастро коҳиш диҳад. Гузариши нури намоён беш аз 92% ва муқовимат 7X10-4Ωcm аст. Онҳо плёнкаҳои ITO-ро, ки дар ҳарорати хонагӣ дар 350~550℃ парвариш карда шудаанд, гарм карданд ва муайян карданд, ки ҳар қадар ҳарорати гармкунӣ баландтар бошад, хосияти кристаллии плёнкаҳои ITO ҳамон қадар беҳтар аст. Гузариши нури намоёни плёнкаҳо пас аз гармкунӣ дар 550℃ 93% ва андозаи дона тақрибан 37 нм аст. Усули бо плазма ёрирасон инчунин метавонад ҳарорати субстратро ҳангоми ташаккули плёнка коҳиш диҳад, ки омили муҳимтарин дар ташаккули плёнка аст ва кристаллӣ низ муҳимтарин аст. Усули бо плазма ёрирасон инчунин метавонад ҳарорати субстратро ҳангоми ташаккули плёнка коҳиш диҳад ва плёнкаи ITO, ки аз таҳшиншавӣ ба даст оварда шудааст, дорои самаранокии хуб аст. Муқовимати плёнкаи ITO, ки аз ҷониби С. Лаукс ва дигарон омода шудааст. хеле паст, 5*10-”Ωcm ва ҷабби нур дар 550nm камтар аз 5% аст ва муқовимати плёнка ва паҳнои банди оптикӣ низ бо тағир додани фишори оксиген ҳангоми таҳшиншавӣ тағйир меёбанд.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 23 марти соли 2024