ఇండియం టిన్ ఆక్సైడ్ (ITO అని పిలుస్తారు) అనేది అధిక దృశ్య కాంతి ప్రసరణ మరియు తక్కువ నిరోధక లక్షణాలను కలిగి ఉన్న ఒక విస్తృత బ్యాండ్ గ్యాప్, అధికంగా డోప్ చేయబడిన n-రకం సెమీకండక్టర్ పదార్థం. అందువల్ల దీనిని సోలార్ సెల్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్ప్లేలు, ఎలక్ట్రోక్రోమిక్ కిటికీలు, అకర్బన మరియు సేంద్రీయ సన్నని-పొర ఎలక్ట్రోల్యూమినిసెన్స్, లేజర్ డయోడ్లు మరియు అతినీలలోహిత డిటెక్టర్లు మరియు ఇతర ఫోటోవోల్టాయిక్ పరికరాలు మొదలైన వాటిలో విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు. ITO ఫిల్మ్లను తయారు చేయడానికి పల్స్డ్ లేజర్ డిపోజిషన్, స్పట్టరింగ్, కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్, స్ప్రే థర్మల్ డికంపోజిషన్, సోల్-జెల్, ఎవాపరేషన్ మొదలైన అనేక పద్ధతులు ఉన్నాయి. ఎవాపరేషన్ పద్ధతులలో, ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ ఎవాపరేషన్ అత్యంత సాధారణంగా ఉపయోగించబడుతుంది.
ITO ఫిల్మ్ను తయారు చేయడానికి పల్స్డ్ లేజర్ డిపోజిషన్, స్పట్టరింగ్, కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్, స్ప్రే పైరోలిసిస్, సోల్-జెల్, ఎవాపరేషన్ మొదలైన అనేక పద్ధతులు ఉన్నాయి, వీటిలో అత్యంత సాధారణంగా ఉపయోగించే ఎవాపరేషన్ పద్ధతి ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ ఎవాపరేషన్. ITO ఫిల్మ్ల ఎవాపరేషన్ తయారీలో సాధారణంగా రెండు పద్ధతులు ఉంటాయి: ఒకటి, అధిక స్వచ్ఛత గల In, Sn మిశ్రమాన్ని సోర్స్ మెటీరియల్గా ఉపయోగించి, ఆక్సిజన్ వాతావరణంలో రియాక్షన్ ఎవాపరేషన్ చేయడం; రెండవది, అధిక స్వచ్ఛత గల In2O3:, SnO2 మిశ్రమాన్ని సోర్స్ మెటీరియల్గా ఉపయోగించి డైరెక్ట్ ఎవాపరేషన్ చేయడం. అధిక ట్రాన్స్మిటెన్స్ మరియు తక్కువ రెసిస్టివిటీ గల ఫిల్మ్ను తయారు చేయడానికి, సాధారణంగా అధిక సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రత లేదా ఫిల్మ్ను తదనంతరం ఎనీలింగ్ చేయవలసిన అవసరం ఉంటుంది. హెచ్.ఆర్. ఫల్లా మరియు ఇతరులు, తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఎలక్ట్రాన్ బీమ్ ఎవాపరేషన్ పద్ధతిని ఉపయోగించి ITO సన్నని ఫిల్మ్లను డిపాజిట్ చేసి, ఫిల్మ్ యొక్క నిర్మాణం, విద్యుత్ మరియు ఆప్టికల్ లక్షణాలపై డిపోజిషన్ రేటు, ఎనీలింగ్ ఉష్ణోగ్రత మరియు ఇతర ప్రాసెస్ పారామితుల ప్రభావాన్ని అధ్యయనం చేశారు. డిపోజిషన్ రేటును తగ్గించడం వల్ల తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద పెరిగిన ఫిల్మ్ల ట్రాన్స్మిటెన్స్ను పెంచి, రెసిస్టివిటీని తగ్గించవచ్చని వారు సూచించారు. దృశ్య కాంతి ప్రసరణం 92% కంటే ఎక్కువగా ఉంది, మరియు నిరోధకత 7X10-4Ωcm. వారు గది ఉష్ణోగ్రత వద్ద పెంచిన ITO ఫిల్మ్లను 350~550℃ వద్ద అనీలింగ్ చేశారు, మరియు అనీలింగ్ ఉష్ణోగ్రత ఎంత ఎక్కువగా ఉంటే, ITO ఫిల్మ్ల స్ఫటిక లక్షణం అంత మెరుగ్గా ఉంటుందని కనుగొన్నారు. 550℃ వద్ద అనీలింగ్ చేసిన తర్వాత ఫిల్మ్ల దృశ్య కాంతి ప్రసరణం 93%, మరియు గ్రెయిన్ సైజు సుమారు 37nm. ప్లాస్మా-సహాయక పద్ధతి ఫిల్మ్ ఏర్పడే సమయంలో సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రతను కూడా తగ్గించగలదు, ఇది ఫిల్మ్ ఏర్పడటంలో అత్యంత ముఖ్యమైన అంశం, మరియు స్ఫటికత్వం కూడా చాలా ముఖ్యమైనది. ప్లాస్మా-సహాయక పద్ధతి ఫిల్మ్ ఏర్పడే సమయంలో సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రతను కూడా తగ్గించగలదు, మరియు డిపాజిషన్ నుండి పొందిన ITO ఫిల్మ్ మంచి పనితీరును కలిగి ఉంది. S. లాక్స్ మరియు ఇతరులు తయారుచేసిన ITO ఫిల్మ్ యొక్క నిరోధకత. నిరోధకత చాలా తక్కువగా, 5*10-”Ωcm ఉంటుంది మరియు 550nm వద్ద కాంతి శోషణ 5% కంటే తక్కువగా ఉంటుంది, అలాగే డిపాజిషన్ సమయంలో ఆక్సిజన్ పీడనాన్ని మార్చడం ద్వారా ఫిల్మ్ యొక్క నిరోధకత మరియు ఆప్టికల్ బ్యాండ్విడ్త్ కూడా మారుతాయి.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: మార్చి-23-2024