இண்டியம் டின் ஆக்சைடு (இண்டியம் டின் ஆக்சைடு, சுருக்கமாக ITO) என்பது ஒரு பரந்த பட்டை இடைவெளி கொண்ட, அதிக அளவில் மாசு கலக்கப்பட்ட n-வகை குறைக்கடத்திப் பொருளாகும். இது அதிக புலப்படும் ஒளி ஊடுருவல் மற்றும் குறைந்த மின்தடைப் பண்புகளைக் கொண்டிருப்பதால், சூரிய மின்கலங்கள், தட்டையான திரை காட்சிகள், எலக்ட்ரோகுரோமிக் ஜன்னல்கள், கனிம மற்றும் கரிம மென்படல எலக்ட்ரோலுமினெசென்ஸ், லேசர் டையோடுகள், புற ஊதா கண்டறிவான்கள் மற்றும் பிற ஒளிமின்னழுத்த சாதனங்கள் போன்றவற்றில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ITO படலங்களைத் தயாரிப்பதற்கு, துடிப்புள்ள லேசர் படிவு, ஸ்பட்டரிங், வேதி ஆவிப் படிவு, தெளிப்பு வெப்பச் சிதைவு, சோல்-ஜெல், ஆவியாக்கம் போன்ற பல முறைகள் உள்ளன. ஆவியாக்க முறைகளில், எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்கம் மிகவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ITO படலத்தைத் தயாரிக்க, துடிப்புள்ள லேசர் படிவு, சிதறல், வேதி ஆவிப் படிவு, தெளிப்பு வெப்பச் சிதைவு, கரைசல்-கூழ், ஆவியாக்கம் போன்ற பல வழிகள் உள்ளன. இவற்றில், எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்கமே மிகவும் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஆவியாக்க முறையாகும். ITO படலங்களின் ஆவியாக்கத் தயாரிப்பு பொதுவாக இரண்டு வழிகளைக் கொண்டுள்ளது: ஒன்று, உயர்-தூய்மையான In, Sn உலோகக் கலவையை மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தி, ஆக்சிஜன் சூழலில் வினை ஆவியாக்கம் செய்வது; இரண்டாவது, உயர்-தூய்மையான In2O3, SnO2 கலவையை மூலப்பொருளாகப் பயன்படுத்தி நேரடியாக ஆவியாக்கம் செய்வது. அதிக ஒளி ஊடுருவல் மற்றும் குறைந்த மின்தடையுடன் கூடிய படலத்தை உருவாக்க, பொதுவாக அதிக அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலை அல்லது படலத்திற்குப் பிந்தைய பதப்படுத்தல் தேவைப்படுகிறது. HR ஃபல்லா மற்றும் அவரது குழுவினர், குறைந்த வெப்பநிலையில் எலக்ட்ரான் கற்றை ஆவியாக்க முறையைப் பயன்படுத்தி ITO மென்படலங்களைப் படியவைத்து, படிவு வீதம், பதப்படுத்தல் வெப்பநிலை மற்றும் பிற செயல்முறை அளவுருக்கள் படலத்தின் அமைப்பு, மின் மற்றும் ஒளியியல் பண்புகளில் ஏற்படுத்தும் விளைவுகளை ஆய்வு செய்தனர். படிவு வீதத்தைக் குறைப்பதன் மூலம், குறைந்த வெப்பநிலையில் வளர்க்கப்பட்ட படலங்களின் ஒளி ஊடுருவலை அதிகரித்து, மின்தடையைக் குறைக்க முடியும் என்று அவர்கள் சுட்டிக்காட்டினர். கண்ணுக்குப் புலப்படும் ஒளியின் ஒளி ஊடுருவல் 92%-க்கும் அதிகமாகவும், மின்தடை 7X10-4Ωcm ஆகவும் உள்ளது. அறை வெப்பநிலையில் வளர்க்கப்பட்ட ITO படலங்களை அவர்கள் 350~550℃ வெப்பநிலையில் பதப்படுத்தினர், மேலும் பதப்படுத்தும் வெப்பநிலை அதிகரிக்க அதிகரிக்க, ITO படலங்களின் படிகப் பண்பு சிறப்பாக இருப்பதைக் கண்டறிந்தனர். 550℃ வெப்பநிலையில் பதப்படுத்தப்பட்ட பிறகு படலங்களின் கண்ணுக்குப் புலப்படும் ஒளி ஊடுருவல் 93% ஆகவும், தானிய அளவு சுமார் 37nm ஆகவும் உள்ளது. பிளாஸ்மா-உதவி முறையானது, படலம் உருவாகும் போது அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையைக் குறைக்கவும் முடியும், இது படலம் உருவாவதில் மிக முக்கியமான காரணியாகும், மேலும் படிகத்தன்மையும் மிக முக்கியமானதாகும். பிளாஸ்மா-உதவி முறையானது படலம் உருவாகும் போது அடி மூலக்கூறு வெப்பநிலையைக் குறைக்கவும் முடியும், மேலும் படிவு மூலம் பெறப்பட்ட ITO படலம் நல்ல செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது. எஸ். லாக்ஸ் மற்றும் குழுவினரால் தயாரிக்கப்பட்ட ITO படலத்தின் மின்தடை. மின்தடைத்திறன் மிகவும் குறைவாக, 5*10⁻¹⁰Ωcm ஆகவும், 550nm-ல் ஒளி உறிஞ்சப்படுவது 5%-க்கும் குறைவாகவும் உள்ளது. மேலும், படியவைப்பின் போது ஆக்சிஜன் அழுத்தத்தை மாற்றுவதால், படலத்தின் மின்தடைத்திறனும் ஒளியியல் அலைவரிசை அகலமும் மாறுகின்றன.
–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா
பதிவிட்ட நேரம்: மார்ச் 23, 2024