Индий калай оксиды (Индий калай оксиды, ITO дип атала) - киң зоналы, югары күренә торган яктылык үткәрүчәнлеге һәм түбән каршылык характеристикалары белән легирланган n-тип ярымүткәргеч материал, шуңа күрә кояш батареяларында, яссы панельле дисплейларда, электрохром тәрәзәләрдә, органик булмаган һәм органик юка пленкалы электролюминесценциядә, лазер диодларында һәм ультрафиолет детекторларында һәм башка фотоэлектрик җайланмаларда һ.б. киң кулланыла. ITO пленкаларын әзерләүнең күп ысуллары бар, шул исәптән импульслы лазер белән каплау, сиптерү, химик пар белән каплау, сиптерү белән термик таркалу, золь-гель, парга әйләндерү һ.б. Парга әйләндерү ысуллары арасында иң еш кулланыла торганы - электрон нур белән парга әйләндерү.
ITO пленкасын әзерләүнең күп ысуллары бар, шул исәптән импульслы лазер белән каплау, сиптерү, химик пар белән каплау, спрей пиролизы, золь-гель, парга әйләндерү һ.б., шуларның иң еш кулланыла торганы - электрон нур белән парга әйләндерү. ITO пленкаларын парга әйләндерү белән әзерләүнең гадәттә ике ысулы бар: берсе - реакция парга әйләндерү өчен кислород атмосферасында югары сафлыклы In, Sn корычмасын чыганак материалы буларак куллану; икенчесе - турыдан-туры парга әйләндерү өчен югары сафлыклы In2O3:, SnO2 катнашмасын чыганак материалы буларак куллану. Югары үткәрүчәнлекле һәм түбән каршылыклы пленка ясау өчен, гадәттә, югарырак субстрат температурасы яки пленканы соңыннан җылыту кирәк. Х.Р. Фаллах һ.б. түбән температураларда электрон нур белән парга әйләндерү ысулын ITO юка пленкаларын каплау өчен кулландылар, каплау тизлегенең, җылыту температурасының һәм башка процесс параметрларының пленка структурасына, электр һәм оптик үзлекләренә йогынтысын өйрәнделәр. Алар каплау тизлеген киметү түбән температурада үстерелгән пленкаларның үткәрүчәнлеген арттырырга һәм каршылыкны киметергә мөмкин дип күрсәттеләр. Күренмә яктылык үткәрүчәнлеге 92% тан артык, ә каршылык 7X10-4Ωcm. Алар бүлмә температурасында 350~550℃ температурада үстерелгән ITO пленкаларын җылытканнар һәм җылыту температурасы югарырак булган саен, ITO пленкаларының кристалл үзлеге яхшырак булуын ачыклаганнар. 550℃ температурада җылытканнан соң пленкаларның күренмә яктылык үткәрүчәнлеге 93%, ә бөртек зурлыгы якынча 37 нм. Плазма ярдәмендәге ысул пленка формалашу вакытында субстрат температурасын да киметергә мөмкин, бу пленка формалашуында иң мөһим фактор, һәм кристалллык та иң мөһиме. Плазма ярдәмендәге ысул пленка формалашу вакытында субстрат температурасын да киметергә мөмкин, һәм утыртудан алынган ITO пленкасы яхшы күрсәткечләргә ия. С. Лаукс һ.б. тарафыннан әзерләнгән ITO пленкасының каршылыгы. бик түбән, 5*10-”Ωсм, һәм 550 нм да яктылыкны йоту 5% тан кимрәк, һәм пленканың каршылыгы һәм оптик полоса киңлеге дә утырту вакытында кислород басымын үзгәртү белән үзгәрә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырып чыгару вакыты: 2024 елның 23 марты