ອິນດຽມທິນອອກໄຊ (Indium Tin Oxide, ເອີ້ນວ່າ ITO) ເປັນວັດສະດຸເຄິ່ງຕົວນຳປະເພດ n ທີ່ມີຊ່ອງຫວ່າງກວ້າງ, ມີສານປະສົມຫຼາຍ, ມີລັກສະນະການສົ່ງຜ່ານແສງທີ່ເຫັນໄດ້ສູງ ແລະ ມີລັກສະນະຄວາມຕ້ານທານຕ່ຳ, ແລະ ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນແບັດເຕີຣີແສງອາທິດ, ຈໍສະແດງຜົນແບບຮາບພຽງ, ປ່ອງຢ້ຽມເອເລັກໂຕຣໂຄຣມິກ, ຟິມບາງອະນົງຄະທາດ ແລະ ອິນຊີເອເລັກໂຕຣລູມິເນສເຊນ, ໄດໂອດເລເຊີ ແລະ ເຄື່ອງກວດຈັບອັລຕຣາໄວໂອເລັດ ແລະ ອຸປະກອນແສງອາທິດອື່ນໆ, ແລະອື່ນໆ. ມີຫຼາຍວິທີໃນການກະກຽມຟິມ ITO, ລວມທັງການວາງເລເຊີແບບພັລສ໌, ການສະເປຣດເຕີ, ການວາງໄອເຄມີ, ການສະເປຣຍ໌ຄວາມຮ້ອນ, ໂຊລເຈວ, ການລະເຫີຍ, ແລະອື່ນໆ. ໃນບັນດາວິທີການລະເຫີຍ, ວິທີການທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປທີ່ສຸດແມ່ນການລະເຫີຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນ.
ມີຫຼາຍວິທີໃນການກະກຽມຟິມ ITO, ລວມທັງການວາງດ້ວຍເລເຊີແບບກະພິບ, ການສີດພົ່ນ, ການວາງໄອເຄມີ, ການສີດພົ່ນໂດຍແສງ, ການລະເຫີຍດ້ວຍໂຊນເຈວ, ການລະເຫີຍ ແລະອື່ນໆ, ເຊິ່ງວິທີການລະເຫີຍທີ່ນິຍົມໃຊ້ຫຼາຍທີ່ສຸດແມ່ນການລະເຫີຍດ້ວຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນ. ການກະກຽມການລະເຫີຍຂອງຟິມ ITO ມັກຈະມີສອງວິທີຄື: ໜຶ່ງແມ່ນການໃຊ້ໂລຫະປະສົມ In, Sn ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນແຫຼ່ງທີ່ມາ, ໃນບັນຍາກາດອົກຊີເຈນສຳລັບການລະເຫີຍປະຕິກິລິຍາ; ສອງແມ່ນການໃຊ້ສ່ວນປະສົມ In2O3:, SnO2 ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງເປັນແຫຼ່ງທີ່ມາສຳລັບການລະເຫີຍໂດຍກົງ. ເພື່ອເຮັດໃຫ້ຟິມມີຄວາມສົ່ງຜ່ານສູງແລະຄວາມຕ້ານທານຕ່ຳ, ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວຕ້ອງການອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນຮອງທີ່ສູງຂຶ້ນ ຫຼື ຄວາມຕ້ອງການໃນການເຮັດໃຫ້ຟິມອ່ອນລົງໃນພາຍຫຼັງ. HR Fallah ແລະ ທີມງານໄດ້ໃຊ້ວິທີການລະເຫີຍດ້ວຍລຳແສງເອເລັກຕຣອນທີ່ອຸນຫະພູມຕ່ຳເພື່ອວາງຟິມບາງ ITO, ເພື່ອສຶກສາຜົນກະທົບຂອງອັດຕາການວາງ, ອຸນຫະພູມການເຮັດໃຫ້ອ່ອນລົງ ແລະ ພາລາມິເຕີຂະບວນການອື່ນໆຕໍ່ໂຄງສ້າງຂອງຟິມ, ຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າ ແລະ ທາງແສງ. ພວກເຂົາຊີ້ໃຫ້ເຫັນວ່າການຫຼຸດອັດຕາການວາງລົງສາມາດເພີ່ມການສົ່ງຜ່ານ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຕ້ານທານຂອງຟິມທີ່ປູກໃນອຸນຫະພູມຕ່ຳ. ການສົ່ງຜ່ານຂອງແສງທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້ແມ່ນຫຼາຍກວ່າ 92%, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານແມ່ນ 7X10-4Ωcm. ພວກເຂົາໄດ້ອົບຟິມ ITO ທີ່ປູກຢູ່ທີ່ອຸນຫະພູມຫ້ອງທີ່ 350~550℃, ແລະ ພົບວ່າອຸນຫະພູມການອົບສູງເທົ່າໃດ, ຄຸນສົມບັດຂອງຜລຶກຂອງຟິມ ITO ກໍ່ຍິ່ງດີຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ. ການສົ່ງຜ່ານແສງທີ່ເບິ່ງເຫັນໄດ້ຂອງຟິມຫຼັງຈາກການອົບທີ່ 550℃ ແມ່ນ 93%, ແລະ ຂະໜາດເມັດປະມານ 37nm. ວິທີການຊ່ວຍດ້ວຍ plasma ຍັງສາມາດຫຼຸດອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນລະຫວ່າງການສ້າງຟິມ, ເຊິ່ງເປັນປັດໄຈທີ່ສຳຄັນທີ່ສຸດໃນການສ້າງຟິມ, ແລະ ຄວາມເປັນຜລຶກກໍ່ສຳຄັນທີ່ສຸດເຊັ່ນກັນ. ວິທີການຊ່ວຍດ້ວຍ plasma ຍັງສາມາດຫຼຸດອຸນຫະພູມຂອງຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນລະຫວ່າງການສ້າງຟິມ, ແລະ ຟິມ ITO ທີ່ໄດ້ຈາກການວາງຊັ້ນມີປະສິດທິພາບດີ. ຄວາມຕ້ານທານຂອງຟິມ ITO ທີ່ກະກຽມໂດຍ S. Laux et al. ຕໍ່າຫຼາຍ, 5*10-”Ωcm, ແລະການດູດຊຶມແສງທີ່ 550nm ແມ່ນໜ້ອຍກວ່າ 5%, ແລະຄວາມຕ້ານທານຂອງຟິມແລະແບນວິດແສງກໍ່ຖືກປ່ຽນແປງໂດຍການປ່ຽນແປງຄວາມດັນອົກຊີເຈນໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນ.
- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດGuangdong Zhenhua
ເວລາໂພສ: ມີນາ-23-2024