El óxido de indio y estaño (ITO) es un material semiconductor de tipo n con banda prohibida ancha y fuertemente dopado, que presenta una alta transmitancia de luz visible y baja resistividad, por lo que se utiliza ampliamente en células solares, pantallas planas, ventanas electrocrómicas, electroluminiscencia de película delgada orgánica e inorgánica, diodos láser, detectores ultravioleta y otros dispositivos fotovoltaicos. Existen muchos métodos para la preparación de películas de ITO, como la deposición por láser pulsado, la pulverización catódica, la deposición química de vapor, la descomposición térmica por pulverización, el método sol-gel y la evaporación. Entre los métodos de evaporación, el más utilizado es la evaporación por haz de electrones.
Existen muchas formas de preparar películas de ITO, incluyendo deposición por láser pulsado, pulverización catódica, deposición química de vapor, pirólisis por pulverización, sol-gel, evaporación, etc., siendo el método de evaporación más comúnmente utilizado la evaporación por haz de electrones. La preparación de películas de ITO por evaporación generalmente se realiza de dos maneras: una es el uso de una aleación de In y Sn de alta pureza como material fuente, en atmósfera de oxígeno para la evaporación por reacción; la segunda es el uso de una mezcla de In2O3:, SnO2 de alta pureza como material fuente para evaporación directa. Para obtener una película con alta transmitancia y baja resistividad, generalmente se requiere una temperatura de sustrato más alta o la necesidad de un recocido posterior de la película. HR Fallah et al. utilizaron el método de evaporación por haz de electrones a bajas temperaturas para depositar películas delgadas de ITO, para estudiar el efecto de la velocidad de deposición, la temperatura de recocido y otros parámetros del proceso en la estructura de la película, las propiedades eléctricas y ópticas. Señalaron que reducir la tasa de deposición podría aumentar la transmitancia y disminuir la resistividad de las películas cultivadas a baja temperatura. La transmitancia de luz visible es más del 92%, y la resistividad es 7X10-4Ωcm. Recocieron las películas de ITO cultivadas a temperatura ambiente a 350~550℃, y encontraron que cuanto mayor es la temperatura de recocido, mejor es la propiedad cristalina de las películas de ITO. La transmitancia de luz visible de las películas después del recocido a 550℃ es del 93%, y el tamaño de grano es de aproximadamente 37nm. El método asistido por plasma también puede reducir la temperatura del sustrato durante la formación de la película, que es el factor más importante en la formación de la película, y la cristalinidad también es el más importante. El método asistido por plasma también puede reducir la temperatura del sustrato durante la formación de la película, y la película de ITO obtenida de la deposición tiene un buen rendimiento. La resistividad de la película de ITO preparada por S. Laux et al. es muy baja, 5*10-”Ωcm, y la absorción de luz a 550 nm es inferior al 5%, y la resistividad de la película y el ancho de banda óptico también cambian al cambiar la presión de oxígeno durante la deposición.
–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua
Fecha de publicación: 23 de marzo de 2024