ইন্ডিয়াম টিন অক্সাইড (সংক্ষেপে ITO) হলো একটি প্রশস্ত ব্যান্ড গ্যাপযুক্ত, উচ্চ মাত্রায় ডোপ করা এন-টাইপ সেমিকন্ডাক্টর উপাদান। এর উচ্চ দৃশ্যমান আলো সঞ্চালন ক্ষমতা এবং কম রোধের বৈশিষ্ট্য রয়েছে, এবং এই কারণে এটি সৌর কোষ, ফ্ল্যাট প্যানেল ডিসপ্লে, ইলেকট্রোক্রোমিক জানালা, অজৈব ও জৈব পাতলা-ফিল্ম ইলেকট্রোলুমিনেসেন্স, লেজার ডায়োড, অতিবেগুনি রশ্মি শনাক্তকারী এবং অন্যান্য ফটোভোল্টাইক ডিভাইস ইত্যাদিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ITO ফিল্ম তৈরির অনেক পদ্ধতি রয়েছে, যার মধ্যে পালসড লেজার ডিপোজিশন, স্পাটারিং, কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন, স্প্রে থার্মাল ডিকম্পোজিশন, সল-জেল, ইভাপোরেশন ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত। ইভাপোরেশন পদ্ধতিগুলোর মধ্যে, ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত হয়।
ITO ফিল্ম প্রস্তুত করার অনেক উপায় আছে, যার মধ্যে পালসড লেজার ডিপোজিশন, স্পাটারিং, কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন, স্প্রে পাইরোলাইসিস, সল-জেল, ইভাপোরেশন ইত্যাদি অন্তর্ভুক্ত। এদের মধ্যে সবচেয়ে বেশি ব্যবহৃত ইভাপোরেশন পদ্ধতি হলো ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন। ITO ফিল্মের ইভাপোরেশন প্রস্তুতিতে সাধারণত দুটি পদ্ধতি রয়েছে: একটি হলো উৎস উপাদান হিসেবে উচ্চ-বিশুদ্ধ In, Sn সংকর ধাতু ব্যবহার করে অক্সিজেন পরিবেশে বিক্রিয়া ইভাপোরেশন; দ্বিতীয়টি হলো উৎস উপাদান হিসেবে উচ্চ-বিশুদ্ধ In2O3, SnO2 মিশ্রণ ব্যবহার করে সরাসরি ইভাপোরেশন। উচ্চ ট্রান্সমিট্যান্স এবং কম রোধের ফিল্ম তৈরি করার জন্য, সাধারণত একটি উচ্চ সাবস্ট্রেট তাপমাত্রা অথবা ফিল্মটির পরবর্তী অ্যানিলিং-এর প্রয়োজন হয়। এইচ আর ফাল্লাহ এবং তার সহযোগীরা কম তাপমাত্রায় ইলেকট্রন বিম ইভাপোরেশন পদ্ধতি ব্যবহার করে ITO পাতলা ফিল্ম জমা করেন এবং ফিল্মের গঠন, বৈদ্যুতিক ও আলোকীয় বৈশিষ্ট্যের উপর ডিপোজিশন হার, অ্যানিলিং তাপমাত্রা এবং অন্যান্য প্রক্রিয়া প্যারামিটারের প্রভাব অধ্যয়ন করেন। তারা উল্লেখ করেছেন যে, ডিপোজিশন রেট কমালে নিম্ন-তাপমাত্রায় তৈরি ফিল্মগুলির ট্রান্সমিট্যান্স বাড়তে এবং রোধাঙ্ক কমতে পারে। দৃশ্যমান আলোর ট্রান্সমিট্যান্স ৯২%-এর বেশি এবং রোধাঙ্ক হলো ৭×১০⁻⁴Ωcm। তারা কক্ষ তাপমাত্রায় তৈরি ITO ফিল্মগুলিকে ৩৫০~৫৫০℃ তাপমাত্রায় অ্যানিলিং করেন এবং দেখতে পান যে, অ্যানিলিং তাপমাত্রা যত বেশি হয়, ITO ফিল্মগুলির ক্রিস্টালাইন বৈশিষ্ট্য তত ভালো হয়। ৫৫০℃ তাপমাত্রায় অ্যানিলিং করার পর ফিল্মগুলির দৃশ্যমান আলোর ট্রান্সমিট্যান্স ৯৩% এবং গ্রেইন সাইজ প্রায় ৩৭nm। প্লাজমা-সহায়ক পদ্ধতি ফিল্ম তৈরির সময় সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রাও কমাতে পারে, যা ফিল্ম গঠনের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ বিষয়, এবং ক্রিস্টালাইনিটিও সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ। প্লাজমা-সহায়ক পদ্ধতি ফিল্ম তৈরির সময় সাবস্ট্রেটের তাপমাত্রাও কমাতে পারে এবং ডিপোজিশন থেকে প্রাপ্ত ITO ফিল্মের কর্মক্ষমতা ভালো। এস. লক্স এবং অন্যান্যদের দ্বারা প্রস্তুতকৃত ITO ফিল্মের রোধাঙ্ক। এর রোধ খুবই কম, 5*10⁻⁶ Ωcm, এবং 550nm তরঙ্গদৈর্ঘ্যে আলোর শোষণ 5%-এরও কম, এবং অধঃক্ষেপণের সময় অক্সিজেনের চাপ পরিবর্তনের মাধ্যমে ফিল্মের রোধাঙ্ক ও অপটিক্যাল ব্যান্ডউইথও পরিবর্তিত হয়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ২৩ মার্চ, ২০২৪