१. बॉम्बर्डमेंट क्लीनिंग सब्सट्रेट
१.१) स्पटरिंग कोटिंग मशीन सब्सट्रेट साफ करण्यासाठी ग्लो डिस्चार्ज वापरते. म्हणजेच, आर्गॉन गॅस चेंबरमध्ये चार्ज करा, डिस्चार्ज व्होल्टेज सुमारे १००० व्ही आहे, पॉवर सप्लाय चालू केल्यानंतर, ग्लो डिस्चार्ज तयार होतो आणि सब्सट्रेट आर्गॉन आयन बॉम्बर्डमेंटद्वारे साफ केला जातो.
१.२) औद्योगिकदृष्ट्या उच्च दर्जाचे दागिने तयार करणाऱ्या स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये, लहान आर्क स्त्रोतांद्वारे उत्सर्जित होणारे टायटॅनियम आयन बहुतेकदा स्वच्छतेसाठी वापरले जातात. स्पटरिंग कोटिंग मशीनमध्ये लहान आर्क स्त्रोत असतो आणि लहान आर्क स्त्रोत डिस्चार्जद्वारे निर्माण होणाऱ्या आर्क प्लाझ्मामधील टायटॅनियम आयन प्रवाहाचा वापर सब्सट्रेटवर बॉम्बफेक आणि साफसफाई करण्यासाठी केला जातो.
२. टायटॅनियम नायट्राइड कोटिंग
टायटॅनियम नायट्राइड पातळ फिल्म्स जमा करताना, स्पटरिंगसाठी लक्ष्य सामग्री टायटॅनियम लक्ष्य असते. लक्ष्य सामग्री स्पटरिंग पॉवर सप्लायच्या नकारात्मक इलेक्ट्रोडशी जोडलेली असते आणि लक्ष्य व्होल्टेज 400~500V असते; आर्गॉन फ्लक्स निश्चित असतो आणि नियंत्रण व्हॅक्यूम (3~8) x10 असतो.-1PA. सब्सट्रेट बायस पॉवर सप्लायच्या नकारात्मक इलेक्ट्रोडशी जोडलेला असतो, ज्याचा व्होल्टेज १००~२००V असतो.
स्पटरिंग टायटॅनियम टार्गेटचा पॉवर सप्लाय चालू केल्यानंतर, एक ग्लो डिस्चार्ज तयार होतो आणि उच्च-ऊर्जा असलेले आर्गॉन आयन स्पटरिंग टार्गेटवर बॉम्बफेक करतात, ज्यामुळे टायटॅनियम अणू लक्ष्यातून बाहेर पडतात.
प्रतिक्रिया वायू नायट्रोजन सादर केला जातो आणि टायटॅनियम अणू आणि नायट्रोजन कोटिंग चेंबरमध्ये टायटॅनियम आयन आणि नायट्रोजन आयनमध्ये आयनीकृत केले जातात. सब्सट्रेटवर लागू केलेल्या नकारात्मक बायस इलेक्ट्रिक फील्डच्या आकर्षणाखाली, टायटॅनियम आयन आणि नायट्रोजन आयन रासायनिक अभिक्रिया आणि जमा करण्यासाठी सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर वेगवान होतात आणि टायटॅनियम नायट्राइड फिल्म थर तयार करतात.
३. सब्सट्रेट बाहेर काढा
पूर्वनिर्धारित फिल्म जाडी गाठल्यानंतर, स्पटरिंग पॉवर सप्लाय, सब्सट्रेट बायस पॉवर सप्लाय आणि एअर सोर्स बंद करा. सब्सट्रेट तापमान १२० डिग्री सेल्सियसपेक्षा कमी झाल्यानंतर, कोटिंग चेंबरमध्ये हवेने भरा आणि सब्सट्रेट बाहेर काढा.
हा लेख प्रकाशित केला आहेमॅग्नेट्रॉन स्पटरिंग कोटिंग मशीन निर्माता- ग्वांगडोंग झेन्हुआ.
पोस्ट वेळ: एप्रिल-०७-२०२३