സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീന്റെ പ്രോസസ് ഫ്ലോ

1. ബോംബാർഡ്മെന്റ് ക്ലീനിംഗ് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ്

1.1) സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ അടിവസ്ത്രം വൃത്തിയാക്കാൻ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ഉപയോഗിക്കുന്നു. അതായത്, ചേമ്പറിലേക്ക് ആർഗൺ വാതകം ചാർജ് ചെയ്യുക, ഡിസ്ചാർജ് വോൾട്ടേജ് ഏകദേശം 1000V ആണ്, പവർ സപ്ലൈ ഓണാക്കിയ ശേഷം, ഒരു ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ആർഗൺ അയോൺ ബോംബാർഡ്മെന്റ് ഉപയോഗിച്ച് അടിവസ്ത്രം വൃത്തിയാക്കുന്നു.

1.2) വ്യാവസായികമായി ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ള ആഭരണങ്ങൾ നിർമ്മിക്കുന്ന സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനുകളിൽ, ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സുകളിൽ നിന്ന് പുറത്തുവിടുന്ന ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളാണ് കൂടുതലും വൃത്തിയാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നത്. സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീനിൽ ഒരു ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് സജ്ജീകരിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ചെറിയ ആർക്ക് സ്രോതസ്സ് ഡിസ്ചാർജ് സൃഷ്ടിക്കുന്ന ആർക്ക് പ്ലാസ്മയിലെ ടൈറ്റാനിയം അയോൺ സ്ട്രീം അടിവസ്ത്രം ബോംബ് ചെയ്ത് വൃത്തിയാക്കാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു.

2. ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് കോട്ടിംഗ്

ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് നേർത്ത ഫിലിമുകൾ നിക്ഷേപിക്കുമ്പോൾ, സ്പട്ടറിംഗിനുള്ള ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ ടൈറ്റാനിയം ടാർഗെറ്റ് ആണ്. ടാർഗെറ്റ് മെറ്റീരിയൽ സ്പട്ടറിംഗ് പവർ സപ്ലൈയുടെ നെഗറ്റീവ് ഇലക്ട്രോഡുമായി ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ ടാർഗെറ്റ് വോൾട്ടേജ് 400~500V ആണ്; ആർഗൺ ഫ്ലക്സ് ഉറപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു, കൂടാതെ നിയന്ത്രണ വാക്വം (3~8) x10 ആണ്.^-1PA. 100~200V വോൾട്ടേജുള്ള, ബയസ് പവർ സപ്ലൈയുടെ നെഗറ്റീവ് ഇലക്ട്രോഡുമായി സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ബന്ധിപ്പിച്ചിരിക്കുന്നു.

സ്പട്ടറിംഗ് ടൈറ്റാനിയം ടാർഗെറ്റിന്റെ പവർ സപ്ലൈ ഓണാക്കിയ ശേഷം, ഒരു ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്നു, ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള ആർഗോൺ അയോണുകൾ സ്പട്ടറിംഗ് ടാർഗെറ്റിനെ ബോംബെറിഞ്ഞ്, ലക്ഷ്യത്തിൽ നിന്ന് ടൈറ്റാനിയം ആറ്റങ്ങളെ ചിതറിക്കുന്നു.

പ്രതിപ്രവർത്തന വാതകമായ നൈട്രജൻ അവതരിപ്പിക്കപ്പെടുന്നു, കൂടാതെ ടൈറ്റാനിയം ആറ്റങ്ങളും നൈട്രജനും കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളും നൈട്രജൻ അയോണുകളുമാക്കി അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു. അടിവസ്ത്രത്തിൽ പ്രയോഗിക്കുന്ന നെഗറ്റീവ് ബയസ് വൈദ്യുത മണ്ഡലത്തിന്റെ ആകർഷണത്തിൽ, ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളും നൈട്രജൻ അയോണുകളും രാസപ്രവർത്തനത്തിനും നിക്ഷേപത്തിനുമായി അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും ഒരു ടൈറ്റാനിയം നൈട്രൈഡ് ഫിലിം പാളി രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു.

3. അടിവസ്ത്രം പുറത്തെടുക്കുക

മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച ഫിലിം കനം എത്തിയ ശേഷം, സ്പട്ടറിംഗ് പവർ സപ്ലൈ, സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ബയസ് പവർ സപ്ലൈ, എയർ സോഴ്‌സ് എന്നിവ ഓഫ് ചെയ്യുക. സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് താപനില 120 ഡിഗ്രി സെൽഷ്യസിൽ താഴെയായ ശേഷം, കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിൽ വായു നിറച്ച് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് പുറത്തെടുക്കുക.

ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്മാഗ്നെട്രോൺ സ്പട്ടറിംഗ് കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്- ഗുവാങ്‌ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ.