1. Машина за обложување со шупливи катодни јони и машина за обложување со јонски лак со топла жица
Шупливиот катоден пиштол и жешката жица за лачно електрично коло се инсталирани на врвот од комората за обложување, анодата е инсталирана на дното, а две електромагнетни намотки се инсталирани на горниот и долниот дел од периферијата на комората за обложување. Лачната светлина тече од врвот кон дното за да се движи спирално.
2. Перманентен магнет плус електромагнетна контрола на малиот кружен извор на катоден лак
Електромагнетната намотка ја забрзува лачната точка за да изврши ротационо движење во обемот на целта, со што се намалува времето на престој на лачната точка на површината на целта, се намалува површината на стопениот базен и се подобрува организацијата на филмскиот слој.
3. Двоен електромагнетен контролен катоден извор на лак
Катодниот лачен извор е опремен со две електромагнетни намотки, што ја подобрува брзината на ротација на електронскиот проток и ја подобрува организацијата на филмскиот слој.
4. Магнетронски циклотрон PECVD
Две електромагнетни намотки се инсталирани надвор од комората за обложување DC PECVD за да предизвикаат ротација на електроните, што ја зголемува веројатноста за судир помеѓу електроните и гасот и ја подобрува стапката на дисоцијација на честичките во филмскиот слој.
5.ECR Микробранова PECVD
Во надворешната комора за обложување, горните и долните делови се инсталирани со две електромагнетни калеми, што може да ја подобри стапката на дисоцијација.
6. Лачно празнење на светлината PECVD
Во комората за обложување на опремата со лачно празнење PECVD околу горните и долните инсталирани две електромагнетни намотки, таложење на дијамантски филм, коаксијалното електромагнетно поле може да се ротира со лачен проток на електрони за да се стимулира гасната јонизација на јаглеводородите.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 24 октомври 2023 година