Pêvajoya Herikîna Makîneya Pêçandina Sputteringê

1. Substrata paqijkirina bombebaranê

1.1) Makîneya pêçandina sputterê ji bo paqijkirina substratê derxistina şewqdar bikar tîne. Ango, gaza argonê têxin nav odeyê, voltaja derxistinê li dora 1000V ye, Piştî vekirina dabînkirina hêzê, derxistinek şewqdar çêdibe, û substrat bi bombebarana îyonên argonê tê paqijkirin.

1.2) Di makîneyên pêçandina bi sputteringê de ku bi awayekî pîşesazî xemlên bilind-kalîte hildiberînin, iyonên tîtanyûmê yên ku ji çavkaniyên kevana piçûk derdikevin bi piranî ji bo paqijkirinê têne bikar anîn. Makîneya pêçandina bi sputteringê bi çavkaniyek kevana piçûk ve hatî çêkirin, û herika îyonên tîtanyûmê di plazmaya kevanê de ku ji hêla derxistina çavkaniya kevana piçûk ve hatî çêkirin ji bo bombebarankirin û paqijkirina substratê tê bikar anîn.

2. Pêçandina nîtrîda tîtanyûmê

Dema ku fîlmên tenik ên nîtrîda tîtanyûmê têne danîn, materyalê hedef ji bo sputterkirinê hedefa tîtanyûmê ye. Materyalê hedef bi elektroda neyînî ya dabînkirina hêza sputterkirinê ve girêdayî ye, û voltaja hedef 400~500V ye; Herikîna argonê sabît e, û valahiya kontrolê (3~8) x10 ye.^-1PA. Substrat bi elektroda neyînî ya dabînkirina hêza bias ve girêdayî ye, bi voltaja 100~200V.

Piştî vekirina dabînkirina hêzê ya hedefa tîtanyûmê ya dirijê, şewqek ronî çêdibe, û iyonên argonê yên enerjiya bilind hedefa dirijê bombebaran dikin, atomên tîtanyûmê ji hedefê dirijînin.

Gaza reaksiyonê nîtrojen têxe hundir, û atomên tîtanyûmê û nîtrojen di odeya pêçandinê de dibin iyonîze û dibin iyonên tîtanyûmê û iyonên nîtrojenê. Di bin kişandina qada elektrîkê ya neyînî ya ku li ser substratê tê sepandin de, iyonên tîtanyûmê û iyonên nîtrojenê ji bo reaksiyona kîmyewî û danîna qatek fîlmek nîtrîda tîtanyûmê lez dibin ser rûyê substratê.

3. Substratê derxin

Piştî ku qalindahiya fîlmê gihîşte asta diyarkirî, dabînkirina hêza sputteringê, dabînkirina hêza alîgirê substratê, û çavkaniya hewayê vemirînin. Piştî ku germahiya substratê ji 120 ℃ kêmtir bibe, odeya pêçandinê bi hewayê tije bikin û substratê derxin.

Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya pêçandina sputterê ya magnetronê- Guangdong Zhenhua.