ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಹರಿವು

1. ಬಾಂಬ್‌ಮೆಂಟ್ ಕ್ಲೀನಿಂಗ್ ಸಬ್‌ಸ್ಟ್ರೇಟ್

1.1) ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರವು ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅನ್ನು ಬಳಸುತ್ತದೆ. ಅಂದರೆ, ಕೋಣೆಗೆ ಆರ್ಗಾನ್ ಅನಿಲವನ್ನು ಚಾರ್ಜ್ ಮಾಡಿ, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್ ಸುಮಾರು 1000V ಆಗಿರುತ್ತದೆ, ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಆರ್ಗಾನ್ ಅಯಾನ್ ಬಾಂಬ್‌ಮೆಂಟ್ ಮೂಲಕ ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

1.2) ಕೈಗಾರಿಕಾವಾಗಿ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಆಭರಣಗಳನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸುವ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರಗಳಲ್ಲಿ, ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲಗಳಿಂದ ಹೊರಸೂಸುವ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳನ್ನು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರವು ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಸಣ್ಣ ಆರ್ಕ್ ಮೂಲದ ವಿಸರ್ಜನೆಯಿಂದ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಆರ್ಕ್ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿನ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನು ಸ್ಟ್ರೀಮ್ ಅನ್ನು ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಬಾಂಬ್ ಮಾಡಲು ಮತ್ತು ಸ್ವಚ್ಛಗೊಳಿಸಲು ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

2. ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಲೇಪನ

ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳನ್ನು ಠೇವಣಿ ಮಾಡುವಾಗ, ಸ್ಪಟರಿಂಗ್‌ಗೆ ಗುರಿ ವಸ್ತುವು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಗುರಿಯಾಗಿದೆ. ಗುರಿ ವಸ್ತುವನ್ನು ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜಿನ ಋಣಾತ್ಮಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಕ್ಕೆ ಸಂಪರ್ಕಿಸಲಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಗುರಿ ವೋಲ್ಟೇಜ್ 400~500V ಆಗಿದೆ; ಆರ್ಗಾನ್ ಫ್ಲಕ್ಸ್ ಸ್ಥಿರವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ನಿಯಂತ್ರಣ ನಿರ್ವಾತವು (3~8) x10 ಆಗಿದೆ.^-1PA. ತಲಾಧಾರವು 100~200V ವೋಲ್ಟೇಜ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಬಯಾಸ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜಿನ ಋಣಾತ್ಮಕ ವಿದ್ಯುದ್ವಾರಕ್ಕೆ ಸಂಪರ್ಕ ಹೊಂದಿದೆ.

ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಗುರಿಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜನ್ನು ಆನ್ ಮಾಡಿದ ನಂತರ, ಗ್ಲೋ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಕ್ತಿಯ ಆರ್ಗಾನ್ ಅಯಾನುಗಳು ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಗುರಿಯ ಮೇಲೆ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿ ಮಾಡುತ್ತವೆ, ಗುರಿಯಿಂದ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಪರಮಾಣುಗಳನ್ನು ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ಮಾಡುತ್ತವೆ.

ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಅನಿಲ ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಟೈಟಾನಿಯಂ ಪರಮಾಣುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕವನ್ನು ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯಲ್ಲಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕ ಅಯಾನುಗಳಾಗಿ ಅಯಾನೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ತಲಾಧಾರಕ್ಕೆ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ನಕಾರಾತ್ಮಕ ಪಕ್ಷಪಾತ ವಿದ್ಯುತ್ ಕ್ಷೇತ್ರದ ಆಕರ್ಷಣೆಯ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ, ಟೈಟಾನಿಯಂ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಸಾರಜನಕ ಅಯಾನುಗಳು ರಾಸಾಯನಿಕ ಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಶೇಖರಣೆಗಾಗಿ ತಲಾಧಾರದ ಮೇಲ್ಮೈಗೆ ವೇಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಿ ಟೈಟಾನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ ಫಿಲ್ಮ್ ಪದರವನ್ನು ರೂಪಿಸುತ್ತವೆ.

3. ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಿರಿ

ಪೂರ್ವನಿರ್ಧರಿತ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪವನ್ನು ತಲುಪಿದ ನಂತರ, ಸ್ಪಟರಿಂಗ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು, ತಲಾಧಾರ ಬಯಾಸ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು ಮತ್ತು ಗಾಳಿಯ ಮೂಲವನ್ನು ಆಫ್ ಮಾಡಿ. ತಲಾಧಾರದ ತಾಪಮಾನವು 120 ℃ ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆಯಾದ ನಂತರ, ಲೇಪನ ಕೊಠಡಿಯನ್ನು ಗಾಳಿಯಿಂದ ತುಂಬಿಸಿ ಮತ್ತು ತಲಾಧಾರವನ್ನು ಹೊರತೆಗೆಯಿರಿ.

ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಪ್ರಕಟಿಸಿದವರುಮ್ಯಾಗ್ನೆಟ್ರಾನ್ ಸ್ಪಟ್ಟರಿಂಗ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರ ತಯಾರಕ- ಗುವಾಂಗ್ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್ಹುವಾ.