1. Macchina per rivestimento ionico a catodo cavo e macchina per rivestimento ionico ad arco a filo caldo
La pistola a catodo cavo e la pistola ad arco a filo caldo sono installate nella parte superiore della camera di rivestimento, l'anodo è installato nella parte inferiore e due bobine elettromagnetiche sono installate nella parte superiore e inferiore del perimetro della camera di rivestimento. Il flusso di elettroni della luce dell'arco avviene dall'alto verso il basso per creare un movimento a spirale.
2. Magnete permanente più controllo elettromagnetico della piccola sorgente ad arco catodico circolare
La bobina elettromagnetica accelera il punto dell'arco per compiere un movimento rotatorio nella circonferenza del bersaglio, il che riduce il tempo di residenza del punto dell'arco sulla superficie del bersaglio, diminuisce l'area della pozza fusa e affina l'organizzazione dello strato di pellicola.
3. Sorgente ad arco catodico a doppio controllo elettromagnetico
La sorgente ad arco catodico è dotata di due bobine elettromagnetiche, che migliorano la velocità di rotazione del flusso di elettroni e perfezionano l'organizzazione degli strati della pellicola.
4.Magnetron Ciclotrone PECVD
All'esterno della camera di rivestimento DC PECVD sono installate due bobine elettromagnetiche per far ruotare gli elettroni, il che aumenta la probabilità di collisione tra gli elettroni e il gas e migliora la velocità di dissociazione delle particelle nello strato di pellicola.
5.ECR Microonde PECVD
Nella camera di rivestimento esterna sono installate due bobine elettromagnetiche, una superiore e una inferiore, che possono migliorare la velocità di dissociazione.
6. Scarica ad arco PECVD
Nella camera di rivestimento dell'apparecchiatura PECVD a scarica ad arco, attorno all'installazione superiore e inferiore di due bobine elettromagnetiche, deposizione di pellicola di diamante, il campo elettromagnetico coassiale può ruotare il flusso di elettroni dell'arco per stimolare la ionizzazione del gas degli idrocarburi.
–Questo articolo è pubblicato daproduttore di macchine per rivestimento sotto vuotoGuangdongZhenhua
Data di pubblicazione: 24 ottobre 2023