1. Undirlag fyrir sprengjuhreinsun
1.1) Sprautunarhúðunarvélar nota glóútfellingu til að hreinsa undirlagið. Það er að segja, argongas er hleypt inn í hólfið, útfellingarspennan er um 1000V. Eftir að rafmagninu er kveikt á myndast glóútfelling og undirlagið er hreinsað með argonjónasprengju.
1.2) Í spúttunarhúðunarvélum sem framleiða iðnaðarlega hágæða skraut eru títanjónir sem losna frá litlum bogagjöfum aðallega notaðar til þrifa. Spúttunarhúðunarvélin er búin litlum bogagjafa og títanjónastraumurinn í bogaplasmanum sem myndast við útblástur litla bogagjafans er notaður til að sprengja og hreinsa undirlagið.
2. Títan nítríð húðun
Þegar títanítríðþunnfilmur eru settar á er markefnið fyrir spútrun títanmark. Markefnið er tengt við neikvæða rafskaut spútrunaraflgjafans og markspennan er 400~500V; argonflæðið er fast og stjórntómarúmið er (3~8) x10-1PA. Undirlagið er tengt við neikvæða rafskaut hlutdrægrar aflgjafans, með spennu upp á 100~200V.
Eftir að kveikt hefur verið á aflgjafa títanmarkmiðsins sem sprautar myndast glóandi útskrift og orkumiklar argonjónir sprengja sprautunarmarkmiðið og sprauta títanatómum frá markinu.
Köfnunarefnisgasið er kynnt til sögunnar og títanatómin og köfnunarefnið eru jónuð í títanjónir og köfnunarefnisjónir í húðunarklefanum. Undir áhrifum neikvæðs rafsviðs sem beitt er á undirlagið, hraða títanjónir og köfnunarefnisjónir sér upp á yfirborð undirlagsins til að efnahvarfa og setjast út til að mynda títanítríðfilmu.
3. Taktu út undirlagið
Eftir að fyrirfram ákveðinni filmuþykkt hefur verið náð skal slökkva á spúttunaraflgjafanum, undirlagsspennuaflgjafanum og loftgjafanum. Þegar undirlagshitastigið er komið niður fyrir 120 ℃ skal fylla húðunarhólfið með lofti og taka undirlagið út.
Þessi grein er gefin út afframleiðandi á magnetron sputtering húðunarvél– Guangdong Zhenhua.
Birtingartími: 7. apríl 2023