1. Bombázásos tisztító hordozó
1.1) A porlasztó bevonatoló gép parázskisülést használ az aljzat tisztítására. Ez azt jelenti, hogy argongázt töltenek a kamrába, a kisülési feszültség körülbelül 1000 V. A tápegység bekapcsolása után parázskisülés keletkezik, és az aljzatot argonion-bombázás tisztítja.
1.2) Az iparilag csúcskategóriás dísztárgyakat előállító porlasztó bevonógépekben a kis ívforrások által kibocsátott titánionokat többnyire tisztításra használják. A porlasztó bevonógép kis ívforrással van felszerelve, és a kis ívforrás kisülése által létrehozott ívplazmában lévő titánion-áramot az aljzat bombázására és tisztítására használják.
2. Titán-nitrid bevonat
Titán-nitrid vékonyrétegek leválasztásakor a porlasztáshoz használt célanyag a titán. A célanyagot a porlasztási tápegység negatív elektródájához csatlakoztatják, a célfeszültség 400–500 V; az argonáram rögzített, a vezérlővákuum pedig (3–8) x10⁻¹.-1PA. A szubsztrát az előfeszítő tápegység negatív elektródájához van csatlakoztatva, 100~200V feszültséggel.
A porlasztó titán céltárgy tápellátásának bekapcsolása után parázskisülés keletkezik, és nagy energiájú argonionok bombázzák a porlasztó céltárgyat, titánatomokat porlasztva le a céltárgyról.
A reakciógáz nitrogént vezetik be, és a titánatomok és a nitrogén titánionokká és nitrogénionokká ionizálódnak a bevonókamrában. A hordozóra alkalmazott negatív előfeszítésű elektromos tér vonzása alatt a titánionok és a nitrogénionok felgyorsulnak a hordozó felületére kémiai reakció és lerakódás céljából, így titán-nitrid filmréteget képezve.
3. Vegye ki az aljzatot
Miután elérte az előre meghatározott filmvastagságot, kapcsolja ki a porlasztási tápegységet, az aljzat előfeszítő tápegységét és a levegőforrást. Miután az aljzat hőmérséklete 120 ℃ alá csökkent, töltse fel a bevonókamrát levegővel, és vegye ki az aljzatot.
Ezt a cikket amagnetron porlasztásos bevonógép gyártó– Guangdong Zhenhua.
Közzététel ideje: 2023. április 7.