1. Substra pou netwaye bonbadman
1.1) Machin kouch pulverizasyon an itilize yon egzeyat lumineux pou netwaye substra a. Sa vle di, yo mete gaz agon an nan chanm lan, vòltaj egzeyat la se anviwon 1000V. Apre yo fin limen ekipman pou pouvwa a, yon egzeyat lumineux pwodui, epi substra a netwaye pa bonbadman iyon agon.
1.2) Nan machin kouch pulverizasyon ki pwodui orneman wo nivo endistriyèlman, iyon Titàn ki emèt pa ti sous ark yo sitou itilize pou netwaye. Machin kouch pulverizasyon an ekipe ak yon ti sous ark, epi kouran iyon Titàn ki nan plasma ark ki pwodui pa ti egzeyat sous ark la itilize pou bonbade epi netwaye substra a.
2. Kouch nitrid Titàn
Lè w ap depoze fim mens nitrid Titàn, materyèl sib pou pulverizasyon an se sib Titàn. Materyèl sib la konekte ak elektwòd negatif ekipman pou pouvwa pulverizasyon an, epi vòltaj sib la se 400 ~ 500V; Flux agon an fiks, epi vakyòm kontwòl la se (3 ~ 8) x10-1PA. Substra a konekte ak elektwòd negatif ekipman pou pouvwa polarizasyon an, ak yon vòltaj 100 ~ 200V.
Apre yo fin limen ekipman pou pouvwa sib Titàn pou pulverizasyon an, yon egzeyat lumineux pwodui, epi iyon agon ki gen anpil enèji bonbade sib pulverizasyon an, sa ki fè atòm Titàn yo soti nan sib la.
Yo entwodui azòt gaz reyaksyon an, epi atòm Titàn yo ak azòt la iyonize an iyon Titàn ak iyon azòt nan chanm kouch la. Anba atraksyon chan elektrik negatif ki aplike sou substra a, iyon Titàn ak iyon azòt yo akselere sou sifas substra a pou reyaksyon chimik ak depo pou fòme yon kouch fim nitrid Titàn.
3. Retire substra a
Apre ou fin rive nan epesè fim nan ki te predetèmine a, etenn ekipman pou pouvwa pulverizasyon an, ekipman pou pouvwa polarizasyon substrat la, ak sous lè a. Lè tanperati substrat la desann pi ba pase 120 ℃, ranpli chanm kouch la ak lè epi retire substrat la.
Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch pulverizasyon mayetron– Guangdong Zhenhua.
Dat piblikasyon: 7 avril 2023